| 疵病检测中适用于不同倍率物镜的波前编码板优化设计 |
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| 引用本文： | 刘江,苗二龙,于长淞,隋永新,杨怀江.疵病检测中适用于不同倍率物镜的波前编码板优化设计[J].光电子．激光,2016,27(3):291-297. |
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| 作者姓名： | 刘江 苗二龙 于长淞 隋永新 杨怀江 |
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| 作者单位： | 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所 超精密光学工程研究中心,吉林 长春 130033 ;中国科学院大学,北京 100049;中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所 超精密光学工程研究中心,吉林 长春 130033;中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所 超精密光学工程研究中心,吉林 长春 130033;中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所 超精密光学工程研究中心,吉林 长春 130033;中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所 超精密光学工程研究中心,吉林 长春 130033 |
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| 基金项目： | 国家重大科技02专项(2009X02205)资助项目 (1.中国科学院长春光学精密机械与物理研究所超精密光学工程研究中心,吉林 长春 130033； 2.中国科学院大学,北京 100049) |
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| 摘 要： | 为了更有效地对光刻投影物镜进行疵病显微检测 ,通过对波前编码(WFC)板上光线入射角度及其系数之间变化关系 的分析,设计和优化了一个可以同时适用于5X、10X显微物镜的WFC板。设计 结果表明,加入优化设计的WFC板后,分别对5X、10X和 20X显微物镜延拓了3到10倍的景深； 同时,光学系统的调制传递函数(MTF)在空间截止 频率附近都能保持较好的数值,保证了其应有的分辨率。通过成像仿真实验,对比了加 入WFC板前后的不同倍 率显微物镜的离焦成像能力。结果表明,所设计的WFC板对不同倍率的显微物镜都 有良好的景深延拓能力,在疵病显微检测中具有良好的适应性和有效性。
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| 关 键 词： | 波前编码(WFC) 显微物镜 景深 分辨率 光学检测 |
| 收稿时间： | 2015/8/20 0:00:00 |
Optimization of wavefront coding phase mask applied to different power objective in optical defects inspection |
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| LIU Jiang,MIAO Er-long,QU Yi,SUI Yong-xin and YANG Huai-jiang.Optimization of wavefront coding phase mask applied to different power objective in optical defects inspection[J].Journal of Optoelectronics·laser,2016,27(3):291-297. |
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| Authors: | LIU Jiang MIAO Er-long QU Yi SUI Yong-xin and YANG Huai-jiang |
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| Affiliation: | Engineering Researcher Center of Extreme Precision Optics,Changchun Institut e of Optics,Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sciences,Changchun 130033,China ;University of Chinese Academy of Sciences,Beijing 100049,China;Engineering Researcher Center of Extreme Precision Optics,Changchun Institut e of Optics,Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sciences,Changchun 130033,China;Engineering Researcher Center of Extreme Precision Optics,Changchun Institut e of Optics,Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sciences,Changchun 130033,China;Engineering Researcher Center of Extreme Precision Optics,Changchun Institut e of Optics,Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sciences,Changchun 130033,China;Engineering Researcher Center of Extreme Precision Optics,Changchun Institut e of Optics,Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sciences,Changchun 130033,China |
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| Abstract: | In order to inspect defects of projection objective using microscope m ore effectively,according to the relationship between the ray incidence angle an d coefficient of wavefront coding phase mask,a wavefront coding phase mask is designed,which can be applied to 5X,10X,20X objectives simultaneou sly.Optimization results show that the modulation transfer functions (MTFs) of t he optical systems with different power objectives preserve fine value in a large defocus range,and can multiply the depths of field of 5X,10X,20X obje ctives by 3to 10times without resolution reduct ion.Finally,the abilities of defocus imaging with and without the wavefront coding phase mask are compared.These resu lts show that the optimized wavefront coding phase mask is flexible and practical in the inspection defects of projection objective using microscope. |
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| Keywords: | wavefront coding (WFC) microscope objective depth of field resolution optica l testing |
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