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| 微电机械系统MEMS | |
| 引用本文： | 方舟 ,严寒.微电机械系统MEMS[J].光机电信息,2001(1). |
| 作者姓名： | 方舟 严寒 |
| 摘 要： | 2001010001用于集成微电机械系统设计的计算机辅助设计=CADfor integrated MEMS design 英]/MukherjeeT … //Proc. SPIE.-2000,4019. -3-14 |
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