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一种制造开关器件掺金的新方法
引用本文:
保爱林.一种制造开关器件掺金的新方法[J].半导体技术,1991(6):50-52.
作者姓名:
保爱林
作者单位:
石家庄国营第八一三0厂 050081
摘 要:
本文讨论了高速在开关器件制造过程中所采用的蒸金工艺的不足。通过实验证实采用新的掺金工艺所生产的开关器件开关参数一致性,以及输出特性均好于前者生产的器件。
关 键 词:
开关器件
掺金
制造
控制
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