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| RCM-1000型光学式微小线宽测定装置 | |
| 引用本文： | 吴秀丽.RCM-1000型光学式微小线宽测定装置[J].光机电信息,1994(5). |
| 作者姓名： | 吴秀丽 |
| 摘 要： | 该装置是测定半导体集成电路的微细图型线宽用的,采用共焦点光学系统,能够测到0.4μm的线宽,每小时能测40片,能生产出 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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