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| LSK-600型离子蚀刻机的研制 | |
| 引用本文： | 周世敦,张本义,徐光耀,李素香,赵晓军.LSK-600型离子蚀刻机的研制[J].真空,1985(6). |
| 作者姓名： | 周世敦 张本义 徐光耀 李素香 赵晓军 |
| 作者单位： | 机械工业部沈阳真空技术研究所 (周世敦，张本义，徐光耀，李素香)，机械工业部沈阳真空技术研究所(赵晓军) |
| 摘 要： | 本文首先对离子蚀刻的原理和用途作了简短的介绍，接着介绍了ＬＳＫ－６００型离子蚀刻机的设计原 则和结构设计，最后介绍了蚀刻机的实验结果。 |
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