| Ti／TiN多层膜显微结构的研究 |
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| 引用本文： | 黄荣芳,郭丽萍.Ti／TiN多层膜显微结构的研究[J].硅酸盐学报,1992,20(5):404-409. |
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| 作者姓名： | 黄荣芳 郭丽萍 |
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| 作者单位： | 中国科学院金属研究所
(黄荣芳，郭丽萍，宫骏，于宝海)，中国科学院金属研究所(闻立时) |
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| 基金项目： | 国家大型自然科学基金课题 |
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| 摘 要： | 用透射电镜研究了Ti/TiN多层膜的显微形貌,并用X射线衍射与透射电镜的微束电子衍射相结合的方法获得多层膜的晶体结构、相组成及其空间分布的信息。证明了Ti/TiN多层膜有明显的分层结构,在每对相邻的Ti层和TiN层之间,均存在Ti_2N界面过渡层,在膜基界面处存在FeTi过渡层。多层膜的晶粒呈纤维状,其尺寸随单层厚度的降低而减小,此即多层膜的晶粒细化效应,它伴随着膜层硬度的增加。
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| 关 键 词： | 钛 氮化钛 膜 晶粒 显微构造 |
STUDY ON MICROSTRUCTURE OF Ti/TiN MULTILAYER FILMS |
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| Huang Rongfang Guo Liping Gong Jun Yu Baohai Wen Lishi.STUDY ON MICROSTRUCTURE OF Ti/TiN MULTILAYER FILMS[J].Journal of The Chinese Ceramic Society,1992,20(5):404-409. |
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| Authors: | Huang Rongfang Guo Liping Gong Jun Yu Baohai Wen Lishi |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | titanium/titanium nitride multilayer film microstructure grain size refining effect |
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