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| 拉伸模具内孔CVD金刚石薄膜抛光工艺研究 | |
| 引用本文： | 周思浩,相炳坤,王仕杰,苏文玉,孟兆升,王轶群.拉伸模具内孔CVD金刚石薄膜抛光工艺研究[J].机械制造与自动化,2018(2). |
| 作者姓名： | 周思浩 相炳坤 王仕杰 苏文玉 孟兆升 王轶群 |
| 作者单位： | 南京航空航天大学机电学院;扬州伽码超硬材料有限公司 |
| 摘 要： | 化学气相沉积(CVD)金刚石一般无法直接应用,需要对其进行抛光处理。在熟悉平面厚膜抛光的机理基础上,采用自制抛光的设备,对拉伸模具内孔CVD金刚石薄膜进行机械抛光工艺的研究,借助表面粗糙度仪、扫描电子显微镜(SEM)对抛光前后及抛光过程中金刚石的表面形貌进行了观察,并对抛光过程进行了分析,研究表明:采用先粗抛光后半精抛光的工艺较为理想。 |
| 关 键 词： | CVD金刚石薄膜 机械抛光 表面形貌 拉伸模具 |
Study of Polishing Process of CVD Diamond Film in Inner Hole of Drawing Die |
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| Keywords: | |
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