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| 掺锡对α—Fe2O3薄膜微结构和气敏特性的影响研究 | |
| 引用本文： | 柴常春,彭军.掺锡对α—Fe2O3薄膜微结构和气敏特性的影响研究[J].功能材料,1997,28(1):71-74. |
| 作者姓名： | 柴常春 彭军 |
| 作者单位： | 西安电子科技大学微电子研究所，西安通信学院程控教研室 |
| 摘 要： | 本文用常压化学气相淀积法（ＡＰＣＶＤ）制备了α－Ｆｅ２Ｏ３薄膜，对所制备的薄膜进行了Ｘ射线衍射分析和表面形貌（ＳＥＭ）分析。对薄膜的气敏特性进行了测量。结果表明，用ＡＰＣＶＤ工艺制备的α－Ｆｅ２Ｏ３薄膜对烟者极为敏感并且具有良好的选择性；本研究还对所制备的α－Ｆｅ２Ｏ３薄膜进行了有效的掺杂，对掺杂样品的气敏特性测试表明四价金属元素Ｓｎ的掺入对α－Ｆｅ２Ｏ３薄膜的气敏特性有显著的影响。实验表明用ＡＰ |
| 关 键 词： | APCVD 氧化铁 薄膜 气敏特性 |
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