| 基于MEMS技术微电容压力传感器转换电路的设计 |
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| 引用本文： | 何立志,刘群.基于MEMS技术微电容压力传感器转换电路的设计[J].黑龙江大学自然科学学报,2010,27(3). |
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| 作者姓名： | 何立志 刘群 |
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| 作者单位： | 1. 黑龙江大学,物理科学与技术学院,哈尔滨150080
2. 哈尔滨工业大学,电气工程及自动化学院,哈尔滨150001 |
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| 基金项目： | 黑龙江省自然科学基金资助项目 |
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| 摘 要： | 在交流激励、电容-电压转换测量方案中,针对测量信号微弱、干扰、温漂大的问题,从测量原理、误差产生、抗杂散性等方面进行了分析,对转换电路中的运算放大器引入了负反馈,并对反馈元件取值进行了研究和实验,得出了实验仿真与调试结果,并给出该电路的误差分析与校正曲线。仿真结果显示,该电路在抗杂散性、抗温漂、提高分辨率和信噪比方面满足设计要求。
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| 关 键 词： | 传感器 微电容 交流激励 电容-电压转换 负反馈 |
A circuit design of small capacity pressure sensor based on MEMS |
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| HE Li-zhi,LIU Qun.A circuit design of small capacity pressure sensor based on MEMS[J].Journal of Natural Science of Heilongjiang University,2010,27(3). |
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| Authors: | HE Li-zhi LIU Qun |
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