| 微测辐射热计微桥结构性能分析 |
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| 引用本文： | 李素,吴志明,蒋亚东 杨晓瑜.微测辐射热计微桥结构性能分析[J].传感技术学报,2006,19(5):1728-1730. |
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| 作者姓名： | 李素 吴志明 蒋亚东 杨晓瑜 |
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| 作者单位： | 电子科技大学光电信息学院,成都,610054 |
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| 摘 要： | 微测辐射热计的设计难点是起支撑作用的微桥结构的设计.重点研究了现在流行的几种微桥结构,对其性能参数进行分析比较,提出了多层结构的优点.并使用有限元分析软件对不同微桥进行结构分析,以比较其稳固性.
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| 关 键 词： | 微测辐射热计 微桥结构 热参数 有限元 |
| 文章编号： | 1004-1699(2006)05-1728-03 |
| 修稿时间： | 2006年7月1日 |
Performance Analysis of Microbolometer Microbridge Structure |
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| LI Su,WU-Zhi-ming,JANG Ya-dong YANG Xiao-yu.Performance Analysis of Microbolometer Microbridge Structure[J].Journal of Transduction Technology,2006,19(5):1728-1730. |
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| Authors: | LI Su WU-Zhi-ming JANG Ya-dong YANG Xiao-yu |
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| Affiliation: | School of Optoelectronic Information, University of Electronic Science and Technology of China, Chengdu 610054, China |
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| Abstract: | In the course of designing a microbolometer, It is the most difficult to design microbridge structure. On the basic of analyzing and comparing several popular microbridge structures , the high quality of multi-level structure has been point out. Its distributing of stress is simulated by finite element analysis software in order to compare their fixedness. |
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| Keywords: | microbolometer microbridge structure thermal parameter finite element analysis |
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