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| 阵列波导光栅原理、制作工艺及其性能分析 | |
| 引用本文： | 郑国兴,杜春雷,邱传凯,刘强.阵列波导光栅原理、制作工艺及其性能分析[J].光子技术,2002(1). |
| 作者姓名： | 郑国兴 杜春雷 邱传凯 刘强 |
| 作者单位： | 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室，中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室，中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室，中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室 成都 610209，成都 610209，成都 610209，成都 610209 |
| 摘 要： | 阵列波导光栅(Arrayed-Waveguide Grating,AWG)是密集型波分复用(DWDM)系统中的关键器件之一。本文论述了AWG的原理及其制作工艺(主要是反应离子刻蚀和化学气相沉积),分析了AWG的一些重要性能参数,提出了一些改进其性能的方法。最后,阐述了AWG在波长路由器、光上/下路复用器(OADM)、光交叉互连(OXC)等的应用。 |
| 关 键 词： | 阵列波导光栅 性能分析 制造 应用 |
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