| 用于光学玻璃CMP的高效稀土抛光液研究 |
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| 引用本文： | 王也,张保国,吴鹏飞,谢孟晨,李烨,李浩然.用于光学玻璃CMP的高效稀土抛光液研究[J].润滑与密封,2023,48(5):79-84. |
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| 作者姓名： | 王也 张保国 吴鹏飞 谢孟晨 李烨 李浩然 |
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| 作者单位： | 河北工业大学电子信息工程学院;河北工业大学天津市电子材料与器件重点实验室 |
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| 基金项目： | 河北省高层次人才资助项目百人计划项目(E2013100006) |
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| 摘 要： | 以纳米二氧化铈(CeO2)为磨料，使用球磨与不同化学试剂(如pH值调节剂乙酸、丙酸、植酸和分散剂离子型表面活性剂、非离子型表面活性剂)的协同分散方法制备纳米CeO2抛光液，研究酸性体系下不同抛光液的分散性能与抛光性能。研究表明，球磨时以乙酸为pH值调节剂，调节溶液pH值为3,料球比为1∶4,球磨时间为6 h,球磨后纳米CeO2悬浮液分散效果较好。采用制备的纳米CeO2抛光液对石英玻璃进行抛光实验。结果表明：在磨料质量分数为1%、pH为4的条件下，石英玻璃的材料去除速率最高为409 nm/min,粗糙度仅为0.03 nm;阳离子、非离子型表面活性剂均有助于提升酸性体系下CeO2悬浮液的分散稳定性，而加入非离子表面活性剂AEO-9(脂肪醇聚氧乙烯醚)效果最佳，其能够在提高分散稳定性的基础上改善石英玻璃的表面质量。
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| 关 键 词： | CeO2 石英玻璃 表面活性剂 化学机械抛光 去除速率 |
Research on High-Efficiency Rare Earth Polishing Slurry for CMP of Optical Glass |
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| WANG Ye,ZHANG Baoguo,WU Pengfei,XIE Mengchen,LI Ye,LI Haoran.Research on High-Efficiency Rare Earth Polishing Slurry for CMP of Optical Glass[J].Lubrication Engineering,2023,48(5):79-84. |
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| Authors: | WANG Ye ZHANG Baoguo WU Pengfei XIE Mengchen LI Ye LI Haoran |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | CeO2 quartz glass surfactant chemical mechanical polishing removal rate |
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