| 信息MEMS技术 |
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| 引用本文： | 赵正平,杨拥军.信息MEMS技术[J].微纳电子技术,2002,39(3):6-11,45. |
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| 作者姓名： | 赵正平 杨拥军 |
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| 作者单位： | 信息产业部电子十三所,石家庄,050051 |
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| 摘 要： | 介绍了信息MEMS技术的研究内容和研究进展,分析了信息MEMS技术对光通信和移动通信的影响,提出了我国发展信息MEMS技术的建议。
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| 关 键 词： | 信息MEMS 光MEMS/MOEMS RFMEMS 光通信 移动通信 |
| 文章编号： | 1671-4776(2002)03-0006-06 |
IT-MEMS technology |
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| ZHAO Zheng-ping,YANG Yong-jun.IT-MEMS technology[J].Micronanoelectronic Technology,2002,39(3):6-11,45. |
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| Authors: | ZHAO Zheng-ping YANG Yong-jun |
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| Abstract: | The con tent and research progress of IT-MEMS technology is introduced,the in fluences of IT-MEMS technology on optical and mobile communications are analyzed,and how to develop IT-MEMS technology in China is proposed. |
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| Keywords: | IT-MEMS optical MEMS/MOEMS RF MEMS optical communication mobile com-munication |
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