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1.52μmInGaAsP/InP分别限制量子阱激光器
引用本文:陈松岩,李玉东,刘式墉,张玉贤.1.52μmInGaAsP/InP分别限制量子阱激光器[J].高技术通讯,1995(10).
作者姓名:陈松岩  李玉东  刘式墉  张玉贤
作者单位:集成电子学国家重点实验室吉林大学实验区
摘    要:报导了在600℃生长温度下以三甲基镓(TMGa)和三甲基铟(TMIn)为Ⅲ族源,用低压金属有机气相沉积(LP-MOCVD)技术生长出的高质量1.60μm和1.3μmInGaAsP材料,以及在其分别限制量子讲结构生长的情况下,用质子轰击方法制得的条形结构量子阱激光器。该激光器在室温下直流阈值电流为100mA。

关 键 词:分别限制量子阱激光器,低压金属有机气相外延,阈值电流
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