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| 功率器件IGBT槽栅设计尺寸对直流参数影响的研究 | |
| 引用本文： | 闻永祥,范伟宏,顾悦吉,刘琛,刘慧勇.功率器件IGBT槽栅设计尺寸对直流参数影响的研究[J].中国集成电路,2013,22(6):65-69. |
| 作者姓名： | 闻永祥 范伟宏 顾悦吉 刘琛 刘慧勇 |
| 作者单位： | 杭州士兰集成电路有限公司技术中心,浙江杭州,310018 |
| 摘 要： | IGBT由于其优异特性而广泛应用于电机、电焊机和功率开关等领域,是功率器件的主流产品之一。本文首先简要介绍IGBT及历代器件工艺的发展,提出了一种槽栅IGBT的工艺流程,并研究了其槽栅设计尺寸对器件主要直流参数的影响。 |
| 关 键 词： | 绝缘栅晶体管 工艺 槽栅尺寸 直流参数 |
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