| 脉冲激光沉积SrBi2Ta2O9铁电薄膜电容特性研究 |
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| 引用本文： | 杨平雄,郑立荣,倪如山,林成鲁.脉冲激光沉积SrBi2Ta2O9铁电薄膜电容特性研究[J].功能材料与器件学报,1997,3(2):148-152. |
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| 作者姓名： | 杨平雄 郑立荣 倪如山 林成鲁 |
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| 作者单位： | 中国科学院上海冶金研究所信息功能材料国家重点实验室 |
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| 摘 要： | 用ＰＬＤ方法成功地制备了ＳＢＴ铁电薄膜，并制作成Ｐｔ／ＳＢＴ／Ｐｔ薄膜电容器。ＳＢＴ薄膜的晶面取向以（００８）和（１１５）为主。在５Ｖ电压下，极化反转，并且得到较饱和的电滞回线，剩余极化强度和矫顽电场分别为８４μＣ／ｃｍ２和５７ｋｖ／ｃｍ。ＩＶ特性测试显示两个对称的双稳峰，并得到零电压下，面积为３１４×１０４μｍ２，厚度为０３５μｍ的电容器，电容约为５６０ｐＦ，介电常数约为６００。疲劳测试表明Ｐｔ／ＳＢＴ／Ｐｔ具有优良的抗疲劳特性。
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| 关 键 词： | 脉冲激光沉积 铁电薄膜 电容特性 |
PULSE EXCIMER LASER DEPOSITION AND CHARACTERIZATION OF SrBi 2Ta 2O 9 FERROELECTRIC CAPACITORS |
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| YANG Pingxiong,ZHENG Lirong,NI Rushan and LIN Chenglu.PULSE EXCIMER LASER DEPOSITION AND CHARACTERIZATION OF SrBi 2Ta 2O 9 FERROELECTRIC CAPACITORS[J].Journal of Functional Materials and Devices,1997,3(2):148-152. |
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| Authors: | YANG Pingxiong ZHENG Lirong NI Rushan and LIN Chenglu |
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| Keywords: | Palse excimer laser deposition SrBi 2Ta 2O 9 ferroelectric capacitor |
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