| 低表面粗糙度金刚石涂层刀具的制备 |
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| 引用本文： | 朱纪磊,苟立,冉均国.低表面粗糙度金刚石涂层刀具的制备[J].稀有金属材料与工程,2005,34(Z1):302-304. |
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| 作者姓名： | 朱纪磊 苟立 冉均国 |
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| 作者单位： | 四川大学无机材料系,四川,成都,610065 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(50101008) |
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| 摘 要： | 降低表面粗糙度是改善金刚石涂层刀具使用性能的有效手段.采用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)金刚石膜,通过在沉积过程中调整工艺参数,先后在硬质合金基体上沉积了2层不同的金刚石薄膜.研究了基体位置、甲烷浓度等对薄膜表面形貌的影响.用扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)和压痕法对样品进行了分析测试,结果表明,该方法在保证金刚石涂层质量的同时有效降低了薄膜表面的粗糙度,表面粗糙度值Ra＜0.2 μm.
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| 关 键 词： | 金刚石涂层 粗糙度 硬质合金 刀具 |
| 文章编号： | 1002-185X(2005)S1-0302-03 |
| 修稿时间： | 2004年12月30 |
Diamond Coated Cutting Tools with Low Surface Roughness |
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| Zhu Jilei,Gou Li,Ran Junguo.Diamond Coated Cutting Tools with Low Surface Roughness[J].Rare Metal Materials and Engineering,2005,34(Z1):302-304. |
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| Authors: | Zhu Jilei Gou Li Ran Junguo |
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