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高频等离子体化学气相淀积法制备TiO2超细粒子
引用本文:朱宏杰,王新.高频等离子体化学气相淀积法制备TiO2超细粒子[J].医学教育探索,1994(5):591-594.
作者姓名:朱宏杰  王新
作者单位:华东理工大学技术化学物理研究所
摘    要:利用TiCl4+O2体系,在高频等离子体化学气相淀积反应器中合成了纯度高、粒度细的TiO2粒子。考察了工艺条件对TiO2粒子物性的影响;探讨了TiO2粒子晶型控制的方法,金红石型质量分数可通过工艺条件控制;探讨了TiO2粒子晶型控制的方法。金红石型质量分数可通过工艺条件控制,减少TiO2单体浓度可提高金红石型质量分数;也可通过在原料TiCl4中添加AlCl3等晶型转化剂,使可转化为单一金红石型Ti

关 键 词:二氧化钛  化学气相淀积  超细粒子

Ultrafine TiO_2 Particles Synthesized by Radio Frequency Plasma Chemical Vapor Deposition
Zhu Hongjie,Wang Xin,Li Chunzhong and Hu Liming.Ultrafine TiO_2 Particles Synthesized by Radio Frequency Plasma Chemical Vapor Deposition[J].Researches in Medical Education,1994(5):591-594.
Authors:Zhu Hongjie  Wang Xin  Li Chunzhong and Hu Liming
Abstract:
Keywords:titanium dioxide  chemical vapor deposition  preparation  ultrafine particle  radio frequency plasma  
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