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| 高精度微位移差拍激光干涉仪 | |
| 引用本文： | 徐毅,叶孝佑.高精度微位移差拍激光干涉仪[J].计量学报,1990,11(1):32-35. |
| 作者姓名： | 徐毅 叶孝佑 |
| 作者单位： | 中国计量科学研究院 (徐毅，叶孝佑，李成阳，邹玲丁，许婕)，中国计量科学研究院(高峰) |
| 摘 要： | 本文介绍用于高精度微位移测量的差拍激光干涉仪,其不确定度优于1×10~(-3)μm,可望作为研究多种微位移测量方法的标准。 |
| 关 键 词： | 激光干涉仪 微位移测量 差拍 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
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