| 精密超精密定位技术及其应用 |
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| 引用本文： | 徐盛林 陈耿. 精密超精密定位技术及其应用[J]. 中国机械工程, 1997, 8(4): 73-75 |
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| 作者姓名： | 徐盛林 陈耿 |
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| 作者单位： | 华中理工大学汉口分校机械系!武汉市，430015，华中理工大学汉口分校!武汉市，430015 |
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| 摘 要： | 介绍精密超精密定位技术的基本概念，目前国内外所能达到的定位精度水平和定位系统的构成，并对实现超精密定位的关键技术进行分析和讨论，最后介绍笔者在这一领域的研究工作。
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| 关 键 词： | 超精密定位 精密分度 纳米 定位技术 机床定位 |
Positioning Technique of Precision and Ultraprecision and Its Application |
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| Xu Shenglin et al. Positioning Technique of Precision and Ultraprecision and Its Application[J]. China Mechanical Engineering, 1997, 8(4): 73-75 |
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| Authors: | Xu Shenglin et al |
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| Abstract: | The basic concepts of precision and ultraprecision positioning, the present level of positioning precision at home and abroad, and architecture of positioning system are presented in this paper. The key technology to realize ultraprecision positioning is analysed and discussed. An author's practical research in this field are introduced as well. |
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| Keywords: | ultraprecision positioning precision indexing nanotechnology |
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