| Si3N4陶瓷轴承NCD涂层制备中的温度场模拟 |
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| 引用本文： | 杨春,卢文壮,左敦稳,徐锋,任卫涛.Si3N4陶瓷轴承NCD涂层制备中的温度场模拟[J].机械制造与自动化,2009,38(3):16-18,36. |
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| 作者姓名： | 杨春 卢文壮 左敦稳 徐锋 任卫涛 |
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| 作者单位： | 1. 南京航空航天大学机电学院,江苏,南京,210016;南京航空航天大学,江苏省精密与微细制造技术重点实验室,江苏,南京,210016
2. 南京航空航天大学机电学院,江苏,南京,210016 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，江苏省自然科学基金 |
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| 摘 要： | 纳米金刚石(NCD)薄膜涂层由于优异的力学和摩擦学性能,是一种理想的轴承涂层材料.在用HFCVD方法制备NCD涂层的过程中,衬底温度是重要参数之一.首先设计了一种适合轴承内外圈NCD涂层制备的热丝夹持装置,其次分析了HFCVD系统的热交换过程,并建立了相应的衬底温度场的三维有限元模型.在此模型基础上具体讨论了热丝数目、温度、热丝到衬底距离等因素对衬底温度大小及均匀性的影响.结果表明,由于衬底相对尺寸较小并且考虑了衬底内部的热传导,各参数的变化对衬底温度大小有明显影响,但对衬底温度均匀性影响不大.结果为轴承NCD涂层的制备提供了理论基础.
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| 关 键 词： | 陶瓷轴承 热丝法 纳米金刚石涂层 温度场 有限元分析 |
FEA Simulation on Temperature Distribution during the NCD Film Deposition on Si3N4 Bearings |
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| YANG Chun,LU Wen-zhuang,ZUO Dun-wen,XU Feng,REN Wei-tao.FEA Simulation on Temperature Distribution during the NCD Film Deposition on Si3N4 Bearings[J].Machine Building & Automation,2009,38(3):16-18,36. |
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| Authors: | YANG Chun LU Wen-zhuang ZUO Dun-wen XU Feng REN Wei-tao |
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