| 小形变变形镜的设计及其在低像差脉冲压缩光栅中的应用 |
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| 引用本文： | 陈新荣,李朝明,王丹,韦晓茹,吴建宏.小形变变形镜的设计及其在低像差脉冲压缩光栅中的应用[J].光学精密工程,2016(12):2993-2999. |
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| 作者姓名： | 陈新荣 李朝明 王丹 韦晓茹 吴建宏 |
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| 作者单位： | 苏州大学物理与光电·能源学部与苏州纳米科技协同创新中心江苏省先进光学制造技术重点实验室教育部现代光学技术重点实验室,江苏苏州215006 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(60808013;61178046)，江苏省高校自然科学研究重大项目(11KJA140001)，江苏省高校优势学科建设工程资助项目 |
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| 摘 要： | 考虑激光脉冲啁啾放大与压缩技术要求脉冲压缩光栅有较低的像差,设计并制作了一个小形变变形镜来补偿大口径光栅基板加工残余的亚微米级静态像差对光栅波像差的影响。该变形镜有效口径为80mm、厚度为5mm,包含19个分立式压电促动器。采用干涉仪测量得到各个促动器的响应函数,构建了变形镜的刚度矩阵;采用最小二乘法求解出获得目标面形时各个促动器上所需施加的控制电压;通过整体优化和局部优化的结合,使变形镜的目标面形得到了有效控制。应用该变形镜构建了主动式全息光学记录系统,并选用具有较大像差的基板开展了光栅像差补偿实验。实验显示,对残余像差为~0.93λ的基板,采用变形镜后制作出了残余波面PV可达0.14λ(@633nm)的脉冲压缩光栅,验证了小形变变形镜在光栅基底像差补偿上的有效性。
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| 关 键 词： | 变形镜 全息光栅 脉冲压缩光栅 压电促动器 响应函数 像差补偿 |
Design of deformable mirror with small deformation and its application in pulse compression grating with low aberration |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Deformable mirror(DM) holographic grating pulse compression grating piezoelectric actuator response function aberration compensation |
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