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Ag70-Cu28-Ti2活性封接AlN陶瓷
引用本文:李子曦  秦明礼  曲选辉,张小勇.Ag70-Cu28-Ti2活性封接AlN陶瓷[J].真空电子技术,2007(4):59-62.
作者姓名:李子曦  秦明礼  曲选辉  张小勇
作者单位:李子曦(北京科技大学材料科学与工程学院,北京,100083);秦明礼(北京科技大学材料科学与工程学院,北京,100083);曲选辉(北京科技大学材料科学与工程学院,北京,100083);张小勇(北京有色金属研究总院,北京,100083)
摘    要:研究了在真空条件下AlN陶瓷真空活性封接的情况,使用的活性焊料是Ag70-Cu28-Ti2熔炼焊片.通过试验可以得到该活性焊料在AlN片上润湿性良好,获得的AlN/AlN接头达到了气密性要求(漏气速率小于1×10-10 Pa·m3/s),平均强度值分别为1.49 kN/cm2(抗弯)和2.00 kN/cm2(抗剪切).通过扫描电镜及电子探针仪观察了焊层形貌和元素分布,分析了连接强度较高的原因.通过XRD确定了焊接的冶金结合及新相的生成.

关 键 词:Ag-Cu-Ti活性合金焊料  AlN封接  接头强度
文章编号:1002-8935(2007)04-0059-04
修稿时间:2007年7月16日

A Study on the Active Welding in Vacuum of AlN with Ag-Cu-Ti Active Filler Metal
LI Zi-xi.A Study on the Active Welding in Vacuum of AlN with Ag-Cu-Ti Active Filler Metal[J].Vacuum Electronics,2007(4):59-62.
Authors:LI Zi-xi
Abstract:
Keywords:Ag-Cu-Ti active filler metal  AlN active welding  Joint strength
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