| 水热法制备In掺杂ZnO薄膜的表面形貌及其光学性质 |
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| 引用本文： | 戴结林,江瑶瑶,尚凤娇,周智涛,王峰,赵敏,吕建国.水热法制备In掺杂ZnO薄膜的表面形貌及其光学性质[J].硅酸盐通报,2015,34(5):1219-1222. |
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| 作者姓名： | 戴结林 江瑶瑶 尚凤娇 周智涛 王峰 赵敏 吕建国 |
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| 作者单位： | 合肥师范学院电子信息工程学院,合肥,230601 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(51102072) |
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| 摘 要： | 采用水热法在ZnO籽晶层上制备了不同In掺杂量的ZnO薄膜,用X射线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)、紫外可见分光光度计和荧光光谱仪等测试分析薄膜的微结构、表面形貌、透射谱和室温光致发光谱.结果表明,In离子的掺入未改变薄膜的晶相结构,但抑制了ZnO晶粒的生长,使得ZnO的结晶度明显下降.随着In含量的增加,薄膜表面rms粗糙度和平均颗粒尺寸均逐渐减小,光学带隙Eg先增大后减小.所有薄膜的PL谱中均观察到405 nm左右的紫光发光带,研究了In掺杂量对紫光发光带的强度和峰位的影响,并对其紫光发射机理进行了探讨.
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| 关 键 词： | In掺杂 ZnO薄膜 表面形貌 光致发光谱 |
Surface Pattern and Optical Properties of In-doped ZnO Thin Films by Hydrothermal Method |
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| DAI Jie-lin,JIANG Yao-yao,SHANG Feng-jiao,ZHOU Zhi-tao,WANG Feng,ZHAO Min,LV Jian-guo.Surface Pattern and Optical Properties of In-doped ZnO Thin Films by Hydrothermal Method[J].Bulletin of the Chinese Ceramic Society,2015,34(5):1219-1222. |
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| Authors: | DAI Jie-lin JIANG Yao-yao SHANG Feng-jiao ZHOU Zhi-tao WANG Feng ZHAO Min LV Jian-guo |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | In-doped ZnO thin film surface pattern photoluminescent spectrum |
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