反应溅射法制作AIN膜的组织结构及表面状态

采用对向阴极型溅射法制备AIN薄膜,研究了在不同全压力条件下,Ar％含量对AIN膜的结晶形态、晶体结构、表面状态、硬度和表面粗糙度的影响。在不同全压力条件下都有一个At％变化范围很窄的非稳态区,在非稳态区内,AIN膜的性能和晶体结构都发生激烈的变化。因此。Ar％小于非稳态区含量时,可制得透明的优质AIN膜。