| 磁控溅射制备TbFeCo薄膜及其光学和磁光性质研究 |
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| 引用本文： | 张晋敏,郜小勇,李晶,周鹏,郑玉祥,王松有,张冬青,陈良尧.磁控溅射制备TbFeCo薄膜及其光学和磁光性质研究[J].功能材料,2004,35(Z1):790-792. |
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| 作者姓名： | 张晋敏 郜小勇 李晶 周鹏 郑玉祥 王松有 张冬青 陈良尧 |
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| 作者单位： | 张晋敏（复旦大学,光科学与工程系,上海,200433;贵州大学,电子科学系,贵州,贵阳,550025）;郜小勇（复旦大学,光科学与工程系,上海,200433）;李晶（复旦大学,光科学与工程系,上海,200433）;周鹏（复旦大学,光科学与工程系,上海,200433）;郑玉祥（复旦大学,光科学与工程系,上海,200433）;王松有（复旦大学,光科学与工程系,上海,200433）;张冬青（贵州大学,电子科学系,贵州,贵阳,550025）;陈良尧（复旦大学,光科学与工程系,上海,200433） |
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| 基金项目： | 贵州省科技厅自然科学基金(20033059)和贵州省教育厅自然科学基金(2003315)资助. |
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| 摘 要： | 采用放电等离子烧结(SPS)TbFeCo合金靶,分别在Si衬底和K9玻璃衬底上磁控溅射制备了磁光薄膜TbFeCo/Si和TbFeCo/K9;利用扫描型可变入射角全自动椭偏仪,室温下测量了复介电常数谱,测量结果表明两样品介电函数值有较大差异,说明衬底对薄膜的光学性质有重要影响.用磁光Kerr谱仪,在室温下分别测量了TbFeCo薄膜的极向Kerr回线和横向Kerr回线,发现所制备TbFeCo薄膜不具有垂直磁化性质,而呈现出面内磁化性质.
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| 关 键 词： | 放电等离子烧结(SPS) 磁光薄膜 椭偏光谱 磁光Kerr效应 |
| 文章编号： | 1001-9731(2004)增刊-0790-03 |
| 修稿时间： | 2004年3月25日 |
The optical and magneto-optical properties of TbFeCo films prepared by magnetron sputtering systems |
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