| 一种新型微致动元件的制作及特性研究 |
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| 引用本文： | 荆阳,雒建斌,张力.一种新型微致动元件的制作及特性研究[J].中国机械工程,2005,16(24):2222-2226. |
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| 作者姓名： | 荆阳 雒建斌 张力 |
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| 作者单位： | 清华大学摩擦学国家重点实验室,北京,100084 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(90206022) |
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| 摘 要： | 介绍了一种用于计算机磁头精确定位的新型压电元件。该元件采用高速流延工艺制备Pb(Mg1/3Nb2/3)O3-Pb(Zr0.52Ti0.48)O3多层膜,由丝网印刷工艺制作Ag/Pd内电极。为优化元件的制作工艺,对流延过程作了DTA/TGA分析。结果显示,采用110℃、350℃和1090℃的三步烧结工艺可显著提高元件的钙钛化程度,从而提高其压电性能,减少内部缺陷。对元件的XRD分析显示,110℃和350℃时压电薄膜中以钙钛矿相为主,且存在大量的焦绿石相,当烧结温度达到1090℃时,焦绿石相的含量已经很少。SEM分析表明,与最终烧结温度1070℃相比,当烧结温度达到1090℃时元件的显微结构更为致密,内部缺陷更少。封装测试在多普勒干涉仪上进行,结果表明,该致动器具有优异的位移/电压灵敏度、谐振频率等特点。
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| 关 键 词： | PMN-PZT 压电多层膜 U形微致动器 DTA-TGA |
| 文章编号： | 1004-132X（2005）24-2222-05 |
| 收稿时间： | 2004-10-26 |
| 修稿时间： | 2004-10-26 |
Study on Fabrication and Properties for a Novel Micro-actuated Element |
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| Jing Yang,Luo Jianbin,Zhang Li.Study on Fabrication and Properties for a Novel Micro-actuated Element[J].China Mechanical Engineering,2005,16(24):2222-2226. |
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| Authors: | Jing Yang Luo Jianbin Zhang Li |
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| Affiliation: | State Key Laboratory of Tribology, Tsinghua University, Beijing, 100084 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | PMN-PZT piezoelectric multilayer element U-type micro-actuator DTA-TGA |
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