| 低频响应MEMS压电式微型振动发电机北大核心 |
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| 引用本文： | 安坤,陈东红,刘立,何剑,丑修建,张文栋.低频响应MEMS压电式微型振动发电机北大核心[J].微纳电子技术,2015(11):713-717. |
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| 作者姓名： | 安坤 陈东红 刘立 何剑 丑修建 张文栋 |
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| 作者单位： | 1.中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室030051;2.中北大学计算机与控制工程学院030051;3.中北大学电子测试技术重点实验室030051; |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金项目(51422510；51175483；61401406)；中国教育部新世纪优秀人才支持计划资助项目(NCET) |
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| 摘 要： | 利用溶胶-凝胶工艺实现均匀致密压电(PZT)膜与Pt/Ti/SiO2/Si/SiO2晶片良好异质集成制造,结合湿法腐蚀、干法刻蚀、磁控溅射、光刻和剥离等MEMS加工工艺制造了一种"单中心质量块-8悬臂梁"结构的压电式微型振动发电机,实现了振动能向电能的转换。测试结果表明:在谐振频率16 Hz、加速度激励3 g、16个压电敏感单元相串联条件下,器件开路输出交流电压峰峰值最大,为166.40 mV;当加载1.20 MΩ负载时,输出功率最大,为0.73 nW,单位体积的输出功率为37.27 nW/cm3,压电敏感单元有效单位面积下的输出功率为0.26 nW/cm2。
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| 关 键 词： | 低频响应 微型振动发电机 PZT膜 输出功率 溶胶-凝胶 |
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