高纯PH3和B2H6中微量H2、O2、N2的分析 |
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引用本文: | 管英衔.高纯PH3和B2H6中微量H2、O2、N2的分析[J].低温与特气,1985(3):55-58. |
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作者姓名: | 管英衔 |
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作者单位: | 化工部光明化工研究所 |
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摘 要: | 前言 半导体工艺过程及大规模集成电路生产中所使用的高纯PH3和B2H6,由于其中含有O2、N2等杂质成份,直接影响了电子产品的质量,所以,必须严格地加以检测和控制。目前,一些发达国家对特气产品中杂质的监控十分重视,且都相应地研制出专门仪器进行检测。如法国TBT公司所研制的TBT色谱仪,对磷烷、硅烷、砷烷及乙硼烷中永久性气体杂质和总烃杂质都能进行检测。
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关 键 词: | 特种气体 杂质检测 TBT色谱仪 高纯PH3 高纯B2H6 H2 O2 N2 |
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