| AAO模板的湿法刻蚀研究 |
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| 引用本文： | 胡国锋,张海明,邸文文,李育洁,高波,朱彦君.AAO模板的湿法刻蚀研究[J].半导体技术,2010,35(6):531-533,576. |
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| 作者姓名： | 胡国锋 张海明 邸文文 李育洁 高波 朱彦君 |
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| 作者单位： | 天津工业大学,理学院,天津300160;天津工业大学,理学院,天津300160;天津工业大学,理学院,天津300160;天津工业大学,理学院,天津300160;天津工业大学,理学院,天津300160;天津工业大学,理学院,天津300160 |
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| 基金项目： | 天津市自然科学基金资助项目 |
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| 摘 要： | 利用二次阳极氧化法制备多孔氧化铝(AAO)模板,然后用NaOH、磷铬酸和不同质量分数的H3PO4等溶液,对AAO模板进行湿法刻蚀.研究了刻蚀时间与AAO模板质量减少之间的变化关系.结果表明,质量分数为3%的H3PO4溶液是最为温和的刻蚀荆,它在刻蚀过程中AAO模板的质量减少跟刻蚀时间呈较好的线性关系.SEM测试表明,刻蚀后的AAO模板表面存在大量的氧化铝纳米线,它们是在刻蚀的过程中产生的,并影响着刻蚀速率.通过调节刻蚀时间,可实现对AAO模板的精确可控刻蚀,这对制备纳米器件具有重要意义.
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| 关 键 词： | 多孔氧化铝 湿法刻蚀 磷酸 氧化铝纳米线 |
Study of Wet Etching of AAO Template |
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| Hu Guofeng,Zhang Haiming,Di Wenwen,Li Yujie,Gao Bo,Zhu Yanjun.Study of Wet Etching of AAO Template[J].Semiconductor Technology,2010,35(6):531-533,576. |
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| Authors: | Hu Guofeng Zhang Haiming Di Wenwen Li Yujie Gao Bo Zhu Yanjun |
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| Affiliation: | Hu Guofeng,Zhang Haiming,Di Wenwen,Li Yujie,Gao Bo,Zhu Yanjun(School of Science,Tianjin Polytechnic University,Tianjin 300160,China) |
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| Abstract: | The highly ordered anodic aluminum oxide(AAO) template was prepared with two-step anodization.The AAO template was carried out by wet etching process using a mixture solution of NaOH,H3PO4 and H2CrO4 and H3PO4.The relationship between mass loss of AAO template and etching time was studied.The results indicate that 3%(mass fraction) H3PO4 is a more mild and effective etchant compared with these etchants,and the mass loss appears linear relationship with etching time.SEM investigations shows that alumina nano... |
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| Keywords: | porous anodic aluminum oxide wet etching H3PO4 alumina nanowires |
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