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| 超精密平面磨削0.01μm微量进给装置的实验研究 | |
| 引用本文： | 刘东,殷国富,吴明根.超精密平面磨削0.01μm微量进给装置的实验研究[J].中国机械工程,1999,19(1). |
| 作者姓名： | 刘东 殷国富 吴明根 |
| 作者单位： | 1. 成都市,610065,四川联合大学 2. 北京市,100076,中国航空精密机械研究所 |
| 摘 要： | 微量进给可满足可延性磨削的要求，微量进给装置采用压电陶瓷作为控制元件，通过调节空气轴承供气压力，实现超精密平面磨削０．０１μｍ的微进给量，实验表明该装置可用于磨床导轨误差的缓进给补偿控制中。 |
| 关 键 词： | 微量进给 分辨率 压电陶瓷 超精密平面磨削 空气轴承 |
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