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| 半导体纳米氧化物气敏传感器的制备及应用 | |
| 引用本文： | 赵全明,李玲玲,王广健,张剑军.半导体纳米氧化物气敏传感器的制备及应用[J].仪器仪表学报,2002,23(Z1):343-344. |
| 作者姓名： | 赵全明 李玲玲 王广健 张剑军 |
| 作者单位： | 河北工业大学,天津,300130 |
| 摘 要： | 论述了金属氧化物SnO2的气敏机理,并对通过掺杂金属、金属离子、金属氧化物以及形成复合型、多组分氧化物等方法制备SnO2薄膜气敏传感器的最新研究成果进行了简要介绍. |
| 关 键 词： | 传感器 气敏材料 SnO2薄膜 制备 应用 |
Preparation and Application of Nano Semiconductor Oxide Gas Sensors |
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| Keywords: | |
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