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小型微/纳米级三坐标测量机的研制 总被引:11,自引:1,他引:10
介绍一套低成本小型三维坐标测量机的研制过程,作为微/纳米级超精密测量设备,整体机台结构采用花岗岩材料;X/Y轴的移动平台利用压电材料摩擦驱动与挠性变形原理,长短两行程可达25mm范围及5nm的微位移,藉自行研发的衍射干涉激光尺,位置回馈测量系统可具有0.025nm的分辨率;测量探头在一般DVD光读取头的自动聚焦原理基础上改装,最佳分辨率可达2.5nm,该雏形机适于测量微机电组件、微型器件及膜厚等。 相似文献
4.
作者认为:镶齿三牙轮钻头的齿柱实际上是一与盲孔过盈配合的悬臂梁。文内对受载情况下的柱齿及齿孔进行了应力分析和刚度分析;推导出齿、孔不脱开的条件,即最大径向承载能力的计算公式。作者又在刚度分析的基础上对微动腐蚀磨损而引起掉齿的失效机理进行了探讨,并由此提出了一些改善固齿工艺的新途径。 相似文献
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高速目标平动补偿是弹道目标微动特征信息提取中一个较难解决的问题.利用弹道导弹宽带回波信号,提出了一种基于散射中心极化散射特性的非相干宽带回波对齐方法,通过极化相似性参数实现散射点中心对齐,并利用目标散射中心的高分辨一维距离像走动提取瞬时微动参数,对目标的尺寸和微动参数进行估计.仿真结果表明,该方法可以有效地在较低信噪比下实现包络对齐与微动参数提取,为后续工程化应用奠定了理论基础. 相似文献
10.
Ti—6Al—4V合金微动磨损的表面防护 总被引:2,自引:1,他引:2
分析对比了Ti-6Al-4V合金经喷丸后抛光、火焰喷涂Cu涂层、等离子喷涂锡青铜、Cu-Ni-In和WC/Co-I涂层、爆炸喷涂WC/Co-Ⅱ、Ni-60和化学镀镍磷镀层等处理后,在室温和500℃下的抗微动磨损性能。结果表明:WC/Co-I涂层有较好的综合防护效果。 相似文献