微波集成电路技术—回顾与展望

半个多世纪来 ,微波电路技术经历了从分立电路、两维微波集成电路、三维微波集成电路等阶段。在回顾这一发展历程后 ,介绍多层微波集成电路和三维微波集成电路。阐述其产生背景、关键技术及发展方向。文中将涉及微加工技术以及从直流至射频的多芯片全集成新概念。瞻望二十一世纪前景。     

微机械电子学系统

本文简要地评述了微机构、微传感器、微执行器的发展,提出了微机械电子学系统的概念,指出了微机械电子学系统的发展前景。     

微小机械的研究现状和动向

介绍了微小机械的发展现状及国外在这方面的最新研究成果,对微小机械的研究方向提出了见解。     

机械可靠性试验技术研究现状和展望

相对电子产品可靠性试验而言,机械产品可靠性试验理论问题还处于不成熟的阶段.文中对当前机械可靠性的特点和争议进行介绍,从Bayesian理论、FMECA(failure mode effects and criticality analysis)和疲劳可靠性试验等三个方面总结机械可靠性试验技术相关的重要理论问题及其发展,并阐述可靠性增长试验、加速试验和微机械可靠性试验技术的国内外发展.最后总结机械可靠性试验技术研究存在的问题及其发展趋势.结论指出,只有把宏观上的可靠性统计、试验技术等问题与微观的材料失效机理及其老化过程等问题研究联合起来共同解决,才会更有助于推进机械可靠性技术的发展.     

微机械加工中的图形硅片键合技术

重点介绍了在微机械加工中碰到的带图形硅片键合工艺，测量了不同表面处理和不同退火条件下的表面能，估算了封闭腔内的剩余压力和腔体薄壁的形变。这对研制和开发新颖的微机械结构提供了一种重要的途径     

微机械共面波导腔结构的微尺度效应研究

设计了复合基底的微机械共面波导腔结构的微机械微带传输线,研究了它的相关微尺度效应。利用修正相对介电常数法和准静态法分析了微结构金属表面的粗糙度带来的结构传输特性的变化。理论分析了复合基底的微尺度残余应力及其热敏电阻,表明它们对器件的性能影响不可忽视,需要在设计时候给予考虑。利用软件模拟结构的损耗特性,比较了不同粗糙度下的传输性能参数。这些研究方法及其结论为传输线的相关微尺度领域提供了分析基础。     

微型热致动泵

利用硅微细加工工艺制作出热致动微型泵,该泵采用薄膜型准对称结构设计及双面双金属驱动方式,它具有体积较小、工艺简单、易于集成,效率高和流量较大生平特点。     

微型机械设计基础研究

针对微型机电系统发展过程中存在的问题 ,论述了开展微型机械设计基础研究的意义和必要性 ,并且总结出微型机械研究中关于微机械设计基础研究的范畴和特点 ,提出了目前迫切需要开展的一些主要研究方向     

新型非制冷高速高灵敏度红外探测器的研制

介绍了一种新型非制冷高速高灵敏度硅基电容式红外探测器的工作原理,描述了探测器的设计思想及制作工艺。该探测器采用密封于微气腔的特殊气体吸收红外辐射以改变探测器微电容的原理来进行红外探测,制作工艺采用微机械加工技术。对样品的测试表明这种红外探测器能探测红外信号。     

Scaling down of microequipment parameters

A method of micromechanical device fabrication is examined in this article. The method consists of the development of equipment which has sizes comparable with the sizes of the produced parts. There are different approaches to this problem. We propose a method of micromachine tool and micromanipulator creation. We do not use the expensive elements. To obtain the necessary precision we utilize the natural advantages of equipment of small size. In this article the error analysis of the microequipment is given and the methods of error minimization are described. An example of the developed microequipment prototypes is given.