数字微反射镜装置的分析与设计

简述了数字微镜装置的微机械工作原理和数字光信号处理技术，建立了基于微米技术制作的数字微镜的机电动力学模型，并给出了微机械碰撞中考虑纳米尺寸效应的实用建模方法，数值仿真分析了某微反射镜单元的运动状态和过程，分析结果与该微镜实测结果吻合较好，此外，还设计了一种新型微镜阵列，提出了相应的分析设计方法。     

经典分子动力学模拟的主要技术

综述了分子动力学模拟的基本原理、发展过程及主要应用,介绍了原子间势函数的发展及势参数的确定,给出了分子动力学模拟中相关的有限差分算法、初始条件及边界条件的选取、平衡态系综及其调控、感兴趣量的提取及主要过程。最后还指出了分子动力学模拟方法本身进一步的研究方向。     

嵌入式CPU外围接口电路的CPLD实现

介绍了一种采用CPLD实现嵌入式CPU外围电路的方法，将数据总线、译码单元、分频电路及逻辑电路集成于一片CPLD，大大缩小了印制板的面积并提高了系统可靠性，同时，由于CPLD的现场可编程特性，整个系统的灵活性显著增强。     

MEMS薄膜应力研究

针对微电子机械悬臂梁废品率高的问题,从悬臂梁的加工工艺,分析了在不同工作状态,薄膜应力对悬臂梁的刚度影响;建立了薄膜应力的数学模型;通过仿真发现,在悬臂梁的某些加工温差段,悬臂梁的刚度出现奇异值,变形已不再满足小变形条件的现象;得出某些加工温差段的薄膜应力是导致悬臂梁产生废品因素之一的结论.     

机械振动对光学系统指向精度的影响

针对机械振动对光学系统性能影响的预测问题，基于矩阵光学和机械振动学理论，建立了振动响应对光学系统性能失调和光束稳定性的分析模型，并以某光学系统为例，给出了数值仿真方法。数值结果表明，仿真模型是合理的，可用于预测评价光学平台机械结构设计的优劣。     

基于Hertz接触理论的纳观摩擦机理研究

利用Greenwood-Williamson(GW)模型建立了模拟物体表面的半球体形貌模型,并利用半球的半径隶属函数来定义了物体表面的"光滑"、"一般"与"粗糙",应用经典的Hertz理论从接触的角度提出了物体表面单球接触力学模型,并建立了动力学方程;最后利用模糊理论对单球系统动力学方程进行叠加,得到了纳观整体滑块的摩擦力与滑动速度的关系.     

位敏探测器在三维主动振动控制系统中的应用研究

位置敏感探测器(Position Sensitive Detector,简称PSD)作为振动检测器件应用于三维主动振动控制系统中,建立了系统的数学模型.对检测过程中遇到的具体问题(如光源的选择、背景光的影响、装置转动的影响等)进行了分析,并给出了相应的解决措施.对PSD信号处理电路做了简单介绍.     

虚拟产品的特征参数化设计

分析了虚拟产品特征参数化的特点和典型求解过程,描述了特征参数化过程中的知识获取、参数提取和知识表达等核心内容,并介绍了基于通用CAD软件平台的虚拟产品特征参数化设计软件的二次开发和集成过程,并以某类伸缩杆天线为例实现其特征参数化设计的产品数据描述模型。     

石英挠性加速度计测量误差的机电动力学分析

石英挠性加速度计测量误差的机电动力学分析＊贾建援仇原鹰甄明文贵印（西安电子科技大学电子机械学校西安７１００７１）（中国工程物理研究院５所）０引言目前，国内外批量生产的石英挠性加速度计的测量精度已达到或超过１μｇ，但由于产品在制造或装配中的误差，使得成...