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随着微电子产业的发展,圆片直径越来越大、厚度越来越薄。一些本来不被关注的问题逐渐凸现出来。当150mm、200mm甚至300mm的圆片被减薄到200μm或者200μm以下时,圆片本身的刚性将慢慢变得不足以使其保持原来平整的状态。文章从圆片减薄后产生翘曲的直观表象入手,分析了产生翘曲问题的根本原因,采用湿法刻蚀的方式去除了圆片因减薄形成的背面损伤层,改善了圆片减薄后的翘曲问题。 相似文献
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三角洲前缘河口坝储层构型界面层次表征 总被引:3,自引:0,他引:3
以高分辨率层序地层学和储层构型理论为指导,采用层次分析方法,对胜坨油田沙二段8砂组河口坝砂体构型界面进行了层次表征.根据高频湖泛面将8砂组划分为3个中期基准面旋回、17个短期基准面旋回.在等时地层格架内,建立了河口坝储层5级构型界面层次:5级界面常发育稳定的前三角洲泥岩,构成油田开发中的隔层;4级界面由厚度变化的泥岩、粉砂质泥岩组成,形成流体渗流屏障;3级界面为低渗透的薄层泥质粉砂岩构成,对地下流体的流动起一定的阻碍和缓冲作用.利用密井网区的动态监测资料,建立了储层构型界面分布模型.构型界面的层次表征揭示了储层内部复杂的构型界面对剩余油分布具有控制作用,为剩余油的挖潜指明了方向. 相似文献
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提出一种新型的蒸发器,在平行流的联箱中设计带分液小孔的隔板,利用其气液分离作用对蒸发区的制冷剂干度进行调控.建立了分液蒸发器的计算模型,并进行实验验证,结果表明传热系数和压降的偏差在±30%以内.分析了不同管程分布对分液蒸发器性能的影响,结果表明管程对性能的影响较大. 相似文献