面向微加工的虚拟光刻系统建模与实现

提出了一种面向微加工的虚拟光刻系统Litho3D.该系统采用傅立叶光学成像模型、光刻胶曝光及显影模型,实现了投影式光学光刻的三维模拟.它拥有标准的GDSII、CIF版图格式接口和支持各种光学参数(包括数值孔径、波长、离焦量,光刻胶厚度、表面折射率等)的模拟设置.模拟结果的显示采用了体绘制与网格相结合的方法,增强了结果的可视性.此外,光刻模拟结果可以直接导入到虚拟工艺系统ZProcess中作为刻蚀工艺的掩膜输入,实现了光刻工艺与其他微机电系统(MEMS)工艺模拟的无缝集成.一系列模拟结果验证了该系统的可行性.     

NKRS—1型通用机器人实验系统的研制

南开大学机器人实验室研制的NKRS—1型通用机器人实验系统由PUMA760机器人和NKRS—1机器人的控制系统组成.该实验系统为机器人控制系统的各部分设计和研究提供了一个真实可靠的软硬件环境,对于机器人控制级的算法研究和评估.对于协调级的改进以及任务级的实现,该实验系统均是十分重要的基础性工作.NKRS—1实验系统采用了灵活独特的硬件体系结构,硬件资源完全向用户开放;备有功能可以与VAL—Ⅱ语言相媲美的NSV1.0语言;各种界面丰富;另外,NKRS—1实验系统还具有一个实时数据采集分析系统.     

微机械虚拟运行的实现框架

简要论述了虚拟运行在MEMS设计系统[1,2 ] 中的重要性 ,引入了动态运动规律和数学库的概念 ,提出了在单机多任务系统上 ,以事件发生时间推进的机制 ,带有多个运动部件及其运动规律的微机械系统虚拟运行实现框架。并结合静电微马达和双金属驱动微流量泵为例 ,分析了虚拟运行中数学库的组织 ,动态运动规律的产生过程以及三维可视化的实时问题 ,所提出并采用的实现框架适用于微马达[3] 、微泵[4 ] 、微加速度计[5] 等微电子机械系统的设计和虚拟运行     

SQL Server数据库的简易备份方案

提出了一种适合小型企业的,用Access数据库备份SQL数据库的方案,很好地降低了企业的成本并达到了数据备份的目的。同时,就Access数据库的安全接口作了简略讨论,使备份后不致丧失数据安全性。     

高技术产业化之路—南开大学机器人与信息自动化研究所发展历程回顾

南开大学机器人与信息自动化研究所（前身是机器人研究室）自１９８４年成立以来,一直从事机器人系统控制的研究．经过了１５年的辛勤耕耘,从机器人研究园地中的一株幼苗逐步成了一棵虽不算粗壮但已是深深扎根于中国的泥土中,枝繁叶茂的成材之木了。这 １５年也正是８６３计划全面实施的 １５年,南开机器人所这株幼苗正是在８６３计划的浇灌培育下,在中国机器人研究大潮推动下,找正了方向,克服了征途中的险阻,一步一步地走向成功的目标。 １技术发展脉络 １．１夯实基础 南开大学机器人与信息自动化研究所自１９８６年开始从事机器…     

分布式认证中心的研究

详细讨论了认证中心及数字证书的概念,提出了一种认证中心架构,并实现了一个原型系统,在此基础上完成了证书验证过程。     

通过显微图像特征抽取获得微操作目标纵向信息

工作于生物显微镜下的微操作机器人系统,是完成对生物细胞显微操作的专用操作系 统．由于各种原因,常规的反馈定位控制难以实现．系统中惟一可以利用的信息是由CCD摄 像机获得的显微平面图像,目标的纵向信息难以获得．本文提出了一种基于系列显微图像频 率特性比较的分析方法,完成对微操作系统中各目标体的纵向位置信息的获取,为本系统的 标定工作和位置控制的实现奠定了基础．     

第七讲 适应控制系统(下)

三、随机适应控制系统—自校正调节器模型参考适应控制系统主要是针对未知确定性系统。在控制工程中还有一类具有不确定性的系统,就是在随机环境中运行的未知系统。由于这种系统动态未知或者有未知的漂移,而且又受到统计特性未知的随机干扰的影响,所以无法设计一个定常的反馈控制系统来达到予期的性能要求。     

电容式微加速度计的研制

以一个电容式微加速度计为设计实例来介绍了基于IP库MEMS设计的流程,其中主要包括四个部分:原理分析,结构设计,工艺流程和版图设计,封装及电路测试。首先根据需求设计出加速度计的基本结构;然后对该结构进行工艺流程和版图的设计;并利用虚拟工艺来进行仿真和可加工性验证;得到的三维结构通过接口导出到FEM中进行数值分析;接着将数值分析的结果进行基于FEM的运动学建模;求解得到的运动规律,以宏模型的形式存入IP库中;与此同时,利用虚拟运行进行可视化行为级的仿真。     

从平面显微图像中提取三维位置反馈信息方法的研究

针对微操作机器人的结构特点和工作环境,提出了一种基于边缘孔径细光束照明原理的纵向定位新方法.即使用两束对称的不同颜色轴外光照明,可以直接从显微图像中得到离焦量和离焦方向.这种方法具有操作简单、计算量小等特点,定位精度达到1μm.本文给出这种方法的理论推导和实验结果.