新型光刻技术的现状与进展

大尺寸、细线宽、高精度、高效率、低成本成为IC产品发展的趋势,随着集成度的提高,芯片制造中最关键的制造工艺--光刻技术也面临着愈来愈多的难题.新兴的193 nm浸入式技术、157 nm极短紫外光刻(Euv)、电子束投影光刻(EPL)、纳米压印光刻等技术将是解决这些问题的关键.介绍了193nm浸入式技术、157nm光刻技术、电子束投影(EPL)光刻技术以及纳米压印光刻技术.指出纳米压印光刻技术具有生产效率高、成本低、工艺过程简单等优点,能实现分辨率达5 nm以下的水平,是最具发展前途的下一代光刻技术之一.     

发动机缸套表面的激光加工和强化原理

缸套的表面质量直接影响着发动机的运行寿命,按常规的加工方法很难达到其表面质量的特殊要求,但很容易由运用激光加工来满足本文讨论缸套表面激光加工与强化的物理基础和激光辐射作用下材料金相组织的变化     

城市规划管理中的日照问题浅析

总结了规划管理工作中常见的日照问题,通过对住宅间距控制方法的分析,归纳了这些问题产生的原因,并结合规划管理工作提出处理和预防日照问题的原则和方法。     

吸管袋装机的结构和原理

将与饮料配套销售的吸管进行机械包装是市场的需要。讨论一种可自动地将吸管每五支一袋包装起来的袋装机的结构和原理。该机可完成送料、包装、热封、横切、纵切和传输等工作，生产率较高。主要讨论该机的输管部分、牵引部分、封切部分及传动部分的结构和特点。     

IC封装的扩晶装置结构设计

提出了扩晶装置的结构。该装置可完成片盒、内圈和外圈的输入和取片动作,实现扩晶过程张紧力的调节控制、分离晶圆和衬架、排出空片盒和废弃的衬架等。特别讨论了取片和扩晶动作的结构和原理。各零件和动作相互配合,能用内外圈将晶圆箍牢。该装置可取代手动装置,为各种粘片机提供配套设备。     

汽缸套模拟磨损试验机加载机构的力学研究

ＫＴＬ汽缸套磨损试验机是一种为研究汽缸套零件磨损所研制的试验设备,本文介绍它的加载机构的基本原理、力学分析、误差分析、误差消除和实际使用步骤。     

零件磨损表面及其隐含周期成分的关系

发动机缸套表面失效的形式有：拉缸、擦伤、粘着磨损、磨粒磨损等,其表面形貌各具典型特征,应用隐含周期成分分析法可在表面形貌的随机数据中分离出周期成分,并确定周期分量新率．本文论述用隐含周期成分分析法研究缸套表面的失效形式,通过表面所隐含的周期频率,发现了其与各种失效形式之间的一些关系．     

用正交试验法研究汽缸套磨损试验的最优方案

讨论了正交试验法的原理,以及在汽缸套磨损试验中的应用。结果表明：载荷和温度是试验诸因素中最主要的因素。