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1.
二元光学元件激光直写设备主轴速度调节的一种新方法   总被引:2,自引:2,他引:0  
介绍了二元光学元件激光直写设备的精密伺服控制系统,分析了主轴伺服系统的结构与控制系统的性能要求,在二元光学元件激光直写设备中,主轴速度调节效果的好坏是决定刻划效率与精度的关键因素之一,本文提出了利用离焦信号的特点,判断出离焦信号的极值点,并计算相邻极值点之间的时间间隔,最终估算出离焦信号频带,并依据离焦信号的频带自动调节主轴速度的新方法。采用此方法可极大地提高刻划效率。  相似文献   
2.
激光直写设备超精密平稳驱动技术的研究   总被引:1,自引:1,他引:0  
在二元光学激光直写设备中,主轴的速度稳定性是影响光刻精度的主要原因之一。提出采用机电混合滤波器消除电机的轴向振动和径向振动对系统的影响,提高主轴系统瞬时运动的平稳性。利用鉴相器输出的频差与相差和主轴电机的速度对锁相调速系统的结构进行优化。同时,利用神经网络改善锁相环系统的非线性特性,并采用模糊参数自调整方法调节控制器的参数。结果表明使用机电混合滤波器可使主轴的轴向与径向振动小于20nm,采用改进的锁相环控制可大大提高主轴的调速范围,并改善其动态性能。  相似文献   
3.
本文对Windows NT操作系统的多线程同步机制和同步对象进行了分析,以其在检测仪和经纬仪同步通信程序开发中的应用为例,论述了如何通过共享事件来实现应用程序和设备驱动程序的同步通信,并给出了同步驱动程序的实现原理和具体编写步骤.  相似文献   
4.
提高实时调焦伺服系统性能的一种新方法   总被引:1,自引:0,他引:1  
对二元光学元件激光直写设备实时调焦伺服系统的要求与实现方法进行了较为全面的介绍,并分析了影响调焦伺服系统性能的主要因素,提出了采用BP神经网络对离焦信号进行线性化处理,同时采用压电陶瓷作为执行元件,并进行动态非线性补偿,可大大提高调焦伺服系统的精度与带宽,同时,在线估算离焦信号的带宽,以此调节刻划的速度,可大大提高刻划的效率。  相似文献   
5.
介绍了激光直写设备(LDWD)的软件系统的组成要求与特点.由于该设备的软件系统庞大而且复杂,由于开发周期长,开发人员多,使得此软件系统的开发与维护变得异常困难.本文提出采用软件组合技术,软件生成技术以及面向对象的程序设计技术,大大缩短了软件的开发周期与维护时间,同时使得系统的功能易于扩展.  相似文献   
6.
本文设计了一款专门应用于视频数据分发的分发芯片,由接收模块、存储截取模块、输出模块和时钟模块4部分组成。接收模块接收来自串行总线的串行数据,因为LED显示屏的LED灯珠由24位的RGB数据驱动,所以先将其转化为24位的RGB数据。存储截取模块将1~N个RGB数据循环存储到RAM中,并对其进行开关检测。当与开关一致时,读取这一循环的RAM中的N个数据并将其发送到输出模块,不一致时循环次数加一。输出模块将RGB转化为串行数据后发送到LED显示屏。最终设计报告表明,分发芯片的功耗为3.662e-05 mW,面积为3.702 mm2,而FPGA的Spartan-6芯片的最低功耗为45 mW,面积为64 mm2。该芯片不仅能快速地分发视频数据,还具有功耗低、面积小等优点。  相似文献   
7.
通航船舶吃水实时检测系统数据处理方法研究   总被引:6,自引:0,他引:6  
根据通航船舶吃水检测要求,研制了基于超声波传感器阵列的船舶动态吃水实时检测系统,获取了船底吃水的点云数据。分析点云数据突变点的分布特征和现场干扰因素,将异常数据分为2类。并提出将点云数据中值滤波算法应用于消除超声波传感器探测船底时"第1类异常数据"的干扰;针对"第2类异常数据"出现在船尾的特点,提出了最小二乘直线回归预测法消除船只螺旋浆尾流干扰。并采用现场实测数据,对算法进行了验证。现场实测表明,检测系统满足测量要求,采用的算法实用、有效。  相似文献   
8.
为了提高在激光直写设备中光刻系统的写入精度,对光探头调焦系统进行了研究。提出一种应用LabView实现伺服调焦系统的方法。其中,详细介绍了光学临界角法检焦的实现原理,分析了在检焦过程中出现的探测器暗电流过大,杂散光干扰以及对称性差等问题。最后阐述了如何利用强大的图形化编程工具LabView实现数据的分析、计算及驱动PZT(压电陶瓷)的过程。整个系统经实地验证,取得了良好的效果,精度可达到0.2μm。  相似文献   
9.
孟祥迪  郭静寰  熊木地 《微机发展》2006,16(10):207-210
介绍了基于路由器的多协议标记交换(MPLS)技术出现的相关背景,以及MPLS的网络结构、节点体系结构和标记交换的工作过程,分析了目前MPLS技术的优点和不足,搭建了MPLS网络的测试环境,并利用该组网环境采用国内某通讯公司的路由器进行了性能测试。测试结果较真实地反映了被测路由器的MPLS性能。  相似文献   
10.
提出了一种基于LED智能玻璃显示器的播放控制系统,目的是解决不同应用情况下LED智能玻璃显示屏与播放控制系统的适配问题,为此设计了一种FPGA加ARM的双核控制系统,该系统通过上位机以串口通信的方式,输入地址表配置信息完成对播放控制系统的配置,而无需修改ARM与FPGA的程序,具有十分强大的适应性与可移植性,解决了大型LED智能玻璃屏,异形LED智能玻璃屏的显示问题,目前该系统已经商业化。  相似文献   
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