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使用10×100mm暖壁行星式外延生长系统进行了4H-SiC大面积多片外延生长,获得了具有良好掺杂与厚度均匀性的高质量4H-SiC外延晶片.测试结果显示,所制得外延晶片X射线衍射谱最高峰的半高宽为26.74”,具有良好的结晶质量;片内厚度均匀性和片间厚度均匀性分别为0.26％和0.5％,片内掺杂均匀性和片间掺杂均匀性分别为2.6％和3.4％;表面粗糙度为0.2nm;表面缺陷密度小于1cm-2.这表明,该10×100mm暖壁行星式外延生长系统可满足4H-SiC外延晶片的产业化需求,将推动SiC功率器件的发展. 相似文献
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联合应用有理分式插值及最佳平方逼近法,得出了一组渐开线外齿轮齿形系数的近似计算公式。这些公式不但计算结果足够精确,而且形式简单,便于在齿轮传动CAD和优化设计中应用。 相似文献
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在分析双臂机器人对直轴芯模环向缠绕的基础上，提出了用３Ｒ－３Ｐ型双臂缠绕机器人对空莘弯管模进行环向缠绕的工艺方案：用３Ｒ臂夹持芯模以及调整的方位，用３Ｐ臂控制夹持纱带丝嘴的运动。通过运动学分析，得到了双办调作业的运动约束方程组，求解出了各活动关节的位移，为实现双臂缠绕机器人空间协调作业的运动学控制提供了理论依据。 相似文献
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