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BST薄膜电容器的制备及其调谐性能研究 总被引:2,自引:2,他引:0
利用氩离子束溅射技术在SiO2/Si衬底上淀积Ba0.8Sr0.2TiO3(BST)薄膜,该薄膜在氧气气氛中500℃退火处理30 min,然后利用集成电路平面工艺将薄膜制作成叉指结构电容器。X-射线衍射仪(XRD)和扫描电镜(SEM)分析表明,BST薄膜具有钙钛矿结构,薄膜表面光滑,晶粒致密且分布均匀。调谐性能测试结果表明,该电容器具有较高的电容调谐率,在室温100 kHz频率下,对于2 V的直流偏压,其调谐率和损耗因子分别为62%和0.02。这说明具有此结构的BST薄膜电容器可望应用于微波集成电路。 相似文献
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目前常用的冷连轧张力微分方程dt=E/L(ν_b(i+1)-ν_(fi))dτ是假设机架间的带钢具有均匀的断面,引用等断面直杆虎克定律导出的,故为等断面张力微分方程。但在模拟连轧机受阶跃外扰和进行动态变规格、咬钢抛钢等连轧过程的计算时,机架间带钢的断面是不均匀的,从而建立了变断面张力微分方程: dt_(ji)=E/(hi(l_1/h_i)/(l_2/H_(i+1)) (ν_b(i+1)-νfi)dτ 并以此方程为主体,提出对带钢断面阶跃变化点进行跟踪计算的动态数字模拟数学模型。经数字计算机实例模拟计算表明:当机架间带钢断面有阶跃变化时,仍采用等断面张力微分方程计算张力有较大误差,而采用变断面张力微分方程能正确地反映上述动态过程。 相似文献
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通过对长山、白城两个电厂平原贮灰坝加固的工程实践,提出了降低浸润线、逆风放灰、利用灰格内的现有材料等进行灰坝加固的工程措施。运行实践证明:采用这些措施保证了加固质量,加快了施工进度,降低了工程造价,实现了安全运行。 相似文献
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