电子束和热退火后处理的射频溅射沉积ZrO2—Y2O3薄膜的结构特征

对射频磁控溅射沉积的ＺｒＯ２－１２ｗｔ％Ｙ２Ｏ３薄膜进行了电子束处理和热退火处理。通过ＸＲＤ，ＸＰＳ，ＳＥＭ等的微观分析，研究了薄膜的相结构组成，薄膜主要组成元素的氧化态以及薄膜的形貌特征。并对以提高薄膜增韧性为目的而进行的后处理的方式选择作了讨论。     

Impact toughness of tungsten films deposited on martensite stainless steel

Tungsten films were deposited on stainless steel Charpy specimens by magnetron sputtering followed by electron beam heat treatment. Charpy impact tests and scanning electron microscopy were used to investigate the ductile-brittle transition behavior of the specimens. With decreasing test temperature the fracture mode was transformed from ductile to brittle for both kinds of specimens with and without W films. The data of the crack initiation energy, crack propagation energy, impact absorbing energy, fracture time and deflection as well as the fracture morphologies at test temperature of-70 ℃ show that W films can improve the impact toughness of stainless steel.     

离子注入在刀具上应用的研究

能量为几十千到几百千电子伏离子射入材料表面,使表面层的组成与结构发生改变,从而引起材料表面的物理与化学性质的变化,这种材料改性方法有极其重要的应用。如摩擦、润滑性、耐磨损性、表面硬化、抗高温氧化性、耐腐蚀性、催化及附着力改善等。虽然离子注入可改善材料这些性质,但由于经济与技术上的原因,最重要的研究集中在耐磨损性、抗高温氧化性及某些耐蚀性上,而耐磨性的研究以工具上的应用为最多。     

H+辐照对不锈钢基体上涂覆W膜的微观研究

对奥氏体不锈钢基体上采用离子束混合技术进行不同厚度的钨膜沉积，沉积后的试样进行了H^ 注入前后的XRD和SEM微观分析，研究了H^ 辐照对W膜的晶体结构和形象的影响。结果表明，沉积的W膜基本上是非晶的，还出现了由于污染造成的钨的氧化物。氢离子的辐照模拟结果表明，少量晶化的W向非晶化转变，污染的氧化物被择优溅射掉。H^ 轰击对W膜表面形貌的影响不大，它仍然致密、均匀、完整且无明显损伤。     

H+辐照前后C-SiC涂层的红外吸收光谱研究

对在不锈钢基体上用离子束混合技术沉积的C－SiC涂层，进行了二次离子质谱（SIMS）及傅氏变换红外吸收光谱（FI－IR）的分析。研究了不锈钢基体涂覆前后的H^ 辐照的氢浓度分布以及H^ 辐照前后涂层的红外光谱振动吸收峰的变化，对SiC涂层阻氢的机理进行了探讨。     

ZrO_2-12wt% Y_2O_3沉积薄膜退火后处理前后的相结构研究

在不同温度衬底上射频磁控溅射沉积ZrO2－12wt％Y2O3薄膜进行了不同方式的退火后处理。其一为1000℃大气气氛下的热退火处理，其二为高真空渗氧条件下的电子束退火处理。退火前后的相结构和显微形貌的研究表明，退火前的沉积膜相组成与沉积过程中衬底温度有关，退火后的沉积膜相组成与退火方式有关，其形貌特征经不同形式退火显示出明显的差别。     

SCR蜂窝式脱硝催化剂耐磨损性能模拟试验装置研制与应用研究

论述了一种新颖的SCR蜂窝式脱硝催化剂耐磨损性能模拟试验装置,并利用该装置对六种规格的SCR蜂窝式脱硝催化剂进行了耐磨损性能的试验研究。研究表明:该模拟装置能较逼真地模拟电厂实际运行的飞灰条件,其工作原理和设计思路可靠有效。随着催化剂的开孔率增加,催化剂耐磨损强度和耐磨损性能提高;磨损剂消耗量和试验时间增加,都会增加催化剂的磨失量,对催化剂的耐磨损性能带来不利影响。     

低能离子束形成类金刚石膜

我们用离子束沉积枝术,制造出了奇异性能的类金刚石碳膜(DLC膜)。初步测试了它的部份机械特性、光学特性、电气特性,化学特性。并且,通过扫描电子显微镜、二次离子质谱、X射线光电子谱、透射电镜、电子衍射等手段,初步确定出DLC膜属于多晶碳膜,不少微区出现金刚石晶粒。