高精度石英全息透镜的MEMS工艺制作

通过微电子机械技术(MEMS)在抛光的熔融石英基材表面制作了平面精度达到0.4μm的超大单片面积的全息透镜。采用了分辨率达到0.2μm的步进投影式拼接光刻,适合石英基材的专用等离子耦合刻蚀(ICP)干法刻蚀技术,特殊的物理清洗方法,以及相关的多项辅助工艺。透镜理想面形横截面曲线为分段抛物线,每一片由23个柱状结构单元周期横向排列构成,采用等深度不等宽度的4台阶结构拟合,单元宽度约为2.966mm。在4in(10.16cm)圆片上,获得了单片尺寸为68mm×68mm的方形透镜。采用接触式台阶仪,扫描电子显微镜(SEM),高倍光学显微镜等方法进行不同阶段检测。结果显示:台阶平面精度为0.4μm,垂直精度为30nm,有非常好的立墙陡直度和刻蚀均匀性。此工艺方案可实现小规模批量生产,成本适中,可以直接用于制作6in(15.24cm)以上同等级要求的石英透镜,经适当改进也可用于蓝宝石等基底材料的制作。     

调焦用微型音圈电机磁场仿真及关键参数分析

调焦用微型音圈电机性能对电机零件的尺寸精度敏感。通过有限元分析对音圈电机进行了磁场的仿真,修改磁场的尺寸参数,得到不同条件下磁场的力系数,并对不同条件下的力系数进行评价,确定了提高力系数均匀程度的方法,同时提高了电机的线性度。     

混凝土砌块墙体渗漏的处理

某小区位于F市中央大街西路,主体建筑包括地下车库一层,地上七层。总的建筑面积在25000平方米。本工程在夏季进入墙体施工阶段,历经3个月施工期,砌筑重量达到1600立方米。在施工过程中我们通过对现场的施工管理的加强,与工程质量控制措施的制定有效解决了房屋墙体的开裂渗漏问题,使混凝土砌块质量得到了保证。建筑的内外墙体根据设计要求都采用混凝土砌块。混     

基于虚拟磁盘的携带型操作系统加密方案

针对移动硬盘的加密系统分区无法被正确辨识而导致误格式化的问题,应用文件系统过滤驱动技术,结合硬盘主引导程序及分区表机理,对现有的基于虚拟磁盘的移动硬盘加解密方案进行了改进,在加密分区包含可运行操作系统的情况下,增加了盘符自动隐藏及恢复的功能。以开源加密软件Truecrypt为例,利用安装了视窗操作系统的固态移动硬盘进行测试。结果表明,在不影响加密操作系统正常运行的同时,盘符自动隐藏及恢复功能避免了用户的误格式化操作,从而提高了移动硬盘加密系统分区的安全性和隐蔽性。     

LED投影光源亮度均匀性检测系统设计

为了使LED投影光源的质量在生产中得以保证,针对其光源亮度均匀性的检测问题,利用Lab-VIEW虚拟仪器开发工具,根据光敏二极管电阻随着光照强度的不同,而形成电流大小不同的特性,设计了一种基于STC12C5A32S2新型高性能单片机的检测系统,详述了其软硬件系统的设计方案.经过一系列的调试实验,解决了LED投影光源亮度均匀性的检测问题[1-2].     

一种新型仿真转台用无脉动连续回转电液伺服马达

本文介绍了一种新型仿真转台用叶片式无脉动连续回转电液伺服马达的工作原理,并详细地说明了该马牵提高超低速、高频响、宽调带、高精度等性能指标方面所具有的优势。     

仿真转台用超低速连续回转电液伺服马达的设计研究

提出１种新型仿真转台用叶片式无脉动连续回转电液伺服马达的结构模型,从设计上采取了一系列关键技术措施以提高马达的超低速、高频响、宽调速、高精度等性能指标。     

一种应用于智能照明的自动组网方法

简要介绍了针对当前智能照明产品在网络组织时的困难,主要是自动化程度不高以及在灯具发生故障时处理上的困难,提出了一种基于芯片识别码的自动组网方案。同时,为了能够对识别码进行有效处理,产生各自不同的组网注册时间,提出采用类哈希处理的方式对识别码进行了划分。同时,为了提高类哈希处理的有效性,进而提出了建立二叉树并通过比较二叉树左右孩子值对识别码进行加权处理的方法。通过这些方法,可以方便的实现网络的自动组织以及故障后更换灯具时的网络组织。     

板上芯片集成封装的发光二极管结构设计

根据板上芯片(COB)集成封装的结构特点,同时考虑反光杯结构和荧光粉涂敷方式,分析了影响COB封装的发光二极管(LED)发光性能的主要因素.针对反光杯结构的关键要素:反光杯形状、反光杯深度、反光杯角度,优化设计了LED光学结构.通过改变TracePro软件中反光杯的相关参数,模拟了不同LED的光强分布及发光效率,探讨了提高COB封装的白光LED发光效能的途径.最后,在4 mA和12 mA电流下进行了传统荧光粉涂敷方式及荧光粉远离芯片涂敷方式的对照实验.仿真及实验结果表明:采用圆锥形反光杯,反光杯深度在一定范围内略大,且反光杯角度设为30°时,LED发光性能较为优异.与传统封装方法相比,采用荧光粉远离芯片的封装方法可使发光效率提高5％左右.得到的结果对LED封装制造过程有指导意义.     

基于增强型PWM算法的DLP投影技术研究

介绍了传统脉宽调制(PWM)灰度算法以及其存在的缺陷,提出了一种增强型的PWM灰度算法,基于人眼的视觉特性将时间子场重新分布。搭建了基于FPGA的数字光处理(DLP)投影显示系统,给出了系统的框图和工作原理。并使用该系统验证了算法的可行性。该投影系统植入增强型PWM算法后数字微镜器件(DMD)微镜开关频率明显提高,相比于传统算法图像显示效果明显提高,人眼的闪烁感明显降低,动态图像的稳定性大幅度提高。