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电源对介质阻挡放电(DBD)激发准分子(XeCl*)辐射的影响 总被引:3,自引:2,他引:1
本文对电源参数如电压幅值、频率及正负电压对介质阻挡放电激发准分子XeCl 紫外 (30 8nm)辐射的影响进行了实验研究。结果表明 ,UV辐射随电压幅度的增加而增强 ,但效率下降 ;提高频率 ,增加了放电次数 ,导致UV辐射的增强 ;此外 ,在较高的频率下 ,电压上升沿变陡 ,使得电子获得的能量主要用于原子的激发和电离。正、负电压放电的不对称源于电极结构的不对称而引起的放电过程的差异 ,负电压内电极可向放电管中馈入更多的能量 ;比较发光光谱可判断生成准分子的等离子体化学过程没有明显的差别 相似文献
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1.IntroductionInoptIcaltelecommunlcatlons,ltisnecessarytodevelopoptlcalfibresystemswithhighertransmls-sionefficlencyandnetworkflexlblllty.Todate,hott'-ever,theyhavebeenfarfromreallzation,baslcallybecauseofdifficultiesinprocessesoffabricatingpla-naropticalwaveguidesanddeviceswithlowbendandtransmlsslonlosses[l1.Whicharedirectlyre-liedonopticalwaveguidefilmperformancesuchashighrefractiveindexandlowsurfaceroughness.Assilicafilmsarecapabletobedepositedoncrystallinesiliconsllbstrateandfurtherformac… 相似文献
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提出用磁控溅射在弹性元件的表面生成TiN薄膜的方法,阐述了二元线性插值法智能补偿的原理和效果,实现了响应快和精度高的要求。 相似文献
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在水冷反应室式MWPCVD装置中以CH4和H2为反应气体进行了金刚石膜的沉积实验,研究了反应气体的压强对金刚石膜中非金刚石碳相含量的影响。实验发现,当微波输入功率较小时,随着反应气压的上升,沉积膜中非金刚石相碳的含量单调下降;当微波输入功率较大时,沉积膜中非金刚石相碳的含量先随着反应气压的上升而降低,后又随着反应气压的上升而稍稍增加。 相似文献
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一种新型的紫外光源—准分子紫外灯 总被引:6,自引:0,他引:6
非相干性紫外或真空紫外光源的应用已成为众多工业部门中一项基础性和关键性的技术,本着重介绍一种使用介质阻挡放民激发紫外或真空紫外辐射的新型光源--准分子此外灯,包括准分子的形成以及光源的紫外辐射效率,最后,对影响准分子辐射的因素如气压,气体组成,温度及电源频率和电压进行了初步的分析。 相似文献
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The Characteristics of Dielectric Barrier Discharge and its Influence on the Excimer XeCl* Emission 总被引:1,自引:0,他引:1
1. IntroductionThere are many reports concerning the dischargemodes at high pressure. The modes of dielectricbarrier discharge (DBD) could be divided mainlyinto two kinds f filament discharge or micro-dischargeand glow discharge or diffused discharge. The fila-ment discharge is a typical characteristic of traditional ozone generator [l], but the characteristics ofDBD in monoatomic gases such as helium, neon andargon at high pressure are'Pfglow-like diffused dis-charge [2]. For air, three co… 相似文献
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大面积平面表面波等离子体的研究 总被引:4,自引:0,他引:4
低温等离子体技术已被广泛应用于各高科技领域 ,并且应用范围仍然在迅速拓展 ,这对等离子体本身提出了更高的要求 ,平面大面积、高密度均匀等离子体源是目前最迫切的需求之一。作者主要介绍表面波激发等离子体的原理 ,并在自行研制的一套平面大面积表面波等离子体源上 ,利用静电双探针测量了其Ar气放电的角向、径向和轴向的电子密度和温度。发现角向电子密度和温度均匀性与耦合天线及气压密切相关而与入射功率无关 ;径向电子密度和温度均匀性则与入射微波功率及气压密切相关而与耦合天线无关。因此 ,通过优化耦合天线来获得径向参数的均匀性及微波耦合效率 ,并增大微波功率、选择适当的气压 ,可产生大面积平面高密度等离子体 相似文献
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本文提出了用磁控溅射法在石英晶体表面形成TiN薄膜,研究了TiN薄膜的性能以及作为生物传感检测时的频率偏离特性。 相似文献
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为解决机收膜杂含土率高的问题,设计了一种滚筒式机收膜杂除土装置,对装置内物料进行动力学分析,确定了该装置的基本参数。在此基础上,以滚筛转速、喂料速度、滚筛倾角和叶片螺距为试验因素,以除土率、漏膜率和工作效率为评价指标进行了四因素五水平的响应面试验,分析了各因素对膜土分离作业性能的影响规律,获得了最佳组合参数如下:滚筛转速为24.90 r/min、喂料速度为11.52 kg/min、滚筛倾角为-2°、叶片螺距为699.99 mm。在该条件下验证试验结果如下:除土率为92.48%、漏膜率为1.90‰、工作效率为7.61 kg/min,试验响应指标预测值与验证试验指标间误差分别为2.15%、5.79%、2.63%,表明所构建模型具有较好的预测可靠性,相关研究可为机收膜杂除土技术提供一定参考和理论支撑。 相似文献