微型圆热管挤压犁削／拔拉成型刀具和模具的设计

在分析微型热管的功能、技术要求及其加工工艺的基础上，设计了微型热管犁削-拔拉用成型刀具和系列模具．该刀具可使定位装夹方便，加工的热管直径尺寸稳定；模具保证了热管的外径尺寸并可方便地根据要求改变外径尺寸，热管外表面质量好，内部具有更加优良的毛细结构．刀具采用高速钢，模具采用45钢．     

降低噪声 实现机床工业可持续性发展

从劳动心理学的角度出发就机床工业的噪声问题论述了机床工业可持续性发展的重要性,并分析了机床噪声产生的原因及为降低饥床噪声而应采取的措施。     

单件小批生产条件下的计算机集成调度控制系统(FOBOS)

介绍了刚被引入中国的应用软件——FOBOS,分析了该系统特点,并对其在中国企业的应用前景进行了展望。     

适于MEMS器件的低应力Ni-W纳米晶薄膜的制备

以高强度、高耐腐蚀性Ni-W合金为研究对象,探讨了柠檬酸胺-HEDP体系中,各种电沉积工艺参数以及热处理条件对Ni-W合金薄膜应力的影响规律及其在微喷嘴模具上的应用.研究结果表明,在优化的工艺条件下,可获得应力为230 MPa、硬度高达988 HV、无裂纹的纳米晶Ni-W薄膜材料,为其在MEMS微器件、微模具制备上的应用提供了有效途径.     

A New Self-assembly Metal CMG Discriminator by Multi-exposure LiGA Like Process and Sacrificial Layer Process

The counter-meshing gears （CMG） discriminator is a mechanically coded lock, which is used to prevent the occurrence of High Consequence Events. This paper advanced a new kind of self-assembly metal CMG discriminator based on multi-exposure LiGA like process and sacrificial layer process. The new CMG discriminator has the following characters except low cost： 1） it has only discrimination teeth sections; 2） the thickness of each gear layer exceeds one hundred micrometers; 3） it is axially driven by a separate dectronic magnetic micromotor directly; 4） its CMG is made of metal and is batch fabricated in the assembled state; 5） it is prevented from rotating in the opposite direction by pawl/ratchet wheel mechanism; 6） it has simpler structure. This device has better strength and reliability in abnormal environment compared to the existing surface micro machining （SMM） discriminator.     

库存管理中EOQ的确定方法

着重分析了确定型库存问题中经济订购批量EOQ的确定方法,并对不确定型库存问题中的安全库存问题进行了简单的探讨。     

Pyrex玻璃金属化凹坑的湿法腐蚀

为在Pyrex玻璃基片上湿法腐蚀出易于金属化（如电镀等）的深凹坑（或凹槽）,选用HF：HNO3：H2O为腐蚀液,分别以Cr/Au（30nm/300nm,溅射）加光刻胶（15μm）和Cr/Pt（30nm/300nm,溅射）加光刻胶（15μm）作为掩膜进行腐蚀实验。实验发现在Cr/Pt/光刻胶掩膜下,Pyrex玻璃的腐蚀凹坑横向钻蚀小（钻深比1.34：1）,侧壁倾斜光滑,并在凹坑（深约28μm）内成功地电镀了焊盘。该实验结果对要求高深宽比沟槽的微流体器件的制造也有一定参考意义。     

基于自适应小波基的刀具磨损检测

通过刀具磨损特征向量的定义和提取,建立了奇异性指数和刀具磨损的对应关系,并利用小波变换对切削力信号进行分析,实现了刀具的磨损检测.     

芯片封装中真空镀膜微热管组的制造方法

针对目前严峻的芯片热控制问题，介绍了在芯片封装中的一种真空镀膜微热管组的制造方法和灌装设备．     

MEMS器件用叠层镍间结合强度的研究

针对MEMS器件用叠层镍间结合强度差这一难题,开展了基于盐酸化学刻蚀提高叠层镍间结合强度的工艺研究.主要考查了不同盐酸浓度、处理温度等对镍层层间结合强度的影响规律.借助SEM、Veeco轮廓分析仪等观察断面,分析结合强度改善的原因.结果表明:在45℃的温度下,经过50%HCl、10 min的化学刻蚀,叠层镍间结合强度达到567.7 MPa,比未经化学刻蚀处理的叠层镍间结合强度提高了6倍.通过SEM、Veeco等分析手段,初步解释了结合强度提高的原因.