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使用溶胶-凝胶法(sol-gel)制备了PZT压电薄膜,利用PZT的压电效应制作以PZT薄膜为驱动的无阀型微驱动器.针对微驱动器的关键结构驱动膜,探索了多层驱动膜的制备方法及PZT薄膜的刻蚀工艺.采用Si/SiO2/Ti/Pt/PZT/Cr/Au多层驱动膜结构,解决了PZT薄膜制备中存在附着力、抗疲劳等问题,利用BHF/HNO3溶液实现了PZT薄膜刻蚀技术的半导体工艺化.同时详细探讨了微机械加工(MEMS)中温度及溶液浓度对腐蚀工艺的重要影响,给出了硅各向异性腐蚀的最佳化工艺条件.通过以上方法成功地解决了集成制作的无阀型微驱动器的关键工艺问题,降低了器件的复杂性.采用以上工艺得到的驱动器硅杯面积大、均匀、平坦,而且在无阀型微驱动器整体设计中没有可以移动的机械部分,所以微驱动器的寿命也得到了提高. 相似文献
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永定新河防潮闸地处天津市永定新河入海口,地质条件恶劣,鉴于灌注桩适用于各种地质且施工操作简单的特点,故采用混凝土钻孔灌注桩施工,本文中介绍了灌注桩施工工艺流程、质量控制及检测方式。为在沿海地区施工,总结了宝贵经验。 相似文献
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孟丽娜 《科技情报开发与经济》2011,21(13):195-196,203
排水泵站进水管道淤泥沉积是泵站运行管理工作中常见的问题,不仅给养护工作带来了很大的困难,还大大提高了养护管理费用。为了降低泵站养护费用,提出了在设计施工时加大泵站进水管道设计坡度、在泵站进水管线上设置沉泥井等防淤清淤措施。 相似文献
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回旋破碎机是目前破碎作业中常用的设备,文章主要针对西门子控制系统在回旋破碎机中的应用进行了介绍,分别从操作运行原理、以及系统应用和系统组成等方面进行了论述。并着重分析了SIMATIC S7-300及MP277触摸屏在系统中的作用。 相似文献
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自行研制“框架”人工椎间盘(ALDFS),并建立腰椎运动节段ALDFS置换的有限元模型,研究ALDFS的应力分布.方法:1.从骨组织工程学、脊柱生物力学、材料学和临床循证医学角度设计,采用无磁性的医用钛合金加工制成ALDFS.2.选取一名健康男性志愿者行薄层CT扫描图像,应用逆向工程技术重建腰椎模型.结合ALDFS的三维模型,建立腰椎运动节段ALDFS置换的腰椎模型,然后通过ANSYS12.0转换成有限元模型,最后模拟腰椎节段的运动,研究ALDFS的应力分布.结果:1.ALDFS由三枚自攻自锁螺钉、两端托板和立柱组成ALDFS两端的藕根形仿生学托板由主板和侧板组成.主板是撑起上下椎体的两端带翼的马蹄印形藕根状结构的截面.侧板是在椎体侧面,安装两枚平行自锁固定螺钉,与主板的一枚纵行螺钉在椎体内相互交锁固定假体.2.成功建立腰椎运动节段ALDFS置换的有限元模型,包括77268个单元.ALDFS的分布特点为:1)所有运动状态下,杵臼关节正中部周围区域应力最大;2)立柱和上托板承受的应力为下托板的6~7倍;3)所有运动状态中,正压状态下立柱和上托板正中部周围区域承受的应力最大;4)所有运动状态中,立柱均承受三个方向的力,其中侧弯时Z轴方向承受的力最大.结论:1.AL-DFS的上托板与立柱之间永久性±5~10°的微动,可一定程度上保留椎间盘的功能.2.建立ALDFS三维有限元模型并进行其应力分析是可行的,结果是可信的. 相似文献
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论当代中国科普主体与受体的演变 总被引:1,自引:0,他引:1
孟丽娜 《科技情报开发与经济》2004,14(10):168-170
随着经济社会和科学技术本身的发展,科普的主体和受众在组成成分和相互关系上都在发生变化,其中最突出和最重要的就是受众的主体化,并且随着主体与受体角色不断地互换,从而形成了“大科普”这样一种互动的科普格局。 相似文献
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