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本文介绍氩、硼离子注入的增强退火效应.四探针测试显示在500℃左右有低的薄层电阻R值,SEM观察和拉曼谱观察表明,注入区的晶格损伤得到了很好的恢复. 相似文献
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本文用耦合理论给出了拓宽的完整的硅脊背形光波导单模区域,在这个区域内,利用脊背高与波导竟之比的一系列取值.可设计出各种大尺寸的单模硅光波导,这给硅波导的设计和制造带来更大的自由度. 相似文献
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本文提出了一个导波区域的等效折射率模型,并应用介质光波导的强耦合理论和有效折射率方法,给出一个较合理的大尺寸单模脊背式半导体光集成中定向耦合器的理论计算模型。并给出一系列计算结果。 相似文献
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采用电荷积累检测原理构成了MOS型单片式光电开关集成电路。该器件具有低功耗、低成本、多功能的特点。文章还对器件的应用情况作了介绍。 相似文献
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硅衬底CMOS射频集成电路中金属厚度对平面螺旋电感Q值的影响 总被引:1,自引:0,他引:1
该文着重分析金属线厚度对Q值的影响.为此设计了三组电感,它们的金属线厚度分别为5、10和20μm,并用Ansoft HFSS软件进行FEM(finite element method)的仿真.仿真的结果表明,金属线厚度对电感Q值的影响在很大程度上取决于电感内径的大小.因此当金属线厚度超过10μm时,通过进一步增加金属线厚度来改善Q值仍是可能的. 相似文献
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