基于粒子群优化的自适应模糊制冷控制算法

为解决空间斯特林制冷机和探测器热负载不确定及存在变化的问题,提出了自适应模糊PID制冷控制。在空间环境中使用的斯特林制冷机参数会随着时间的变化而发生改变,探测器负载也会随着工作模式和工作时间的变化而变化,整个制冷系统涉及的变量多,参数非线性。采用传统的控制方法,在固定的单一条件、环境下得到的控制参数,环境和负载发生变化后容易性能变差甚至不稳定,控制精度和稳定性不能满足使用要求。设计了一种自适应斯特林制冷机控制器,通过综合自适应模糊PID控制的方法,采用粒子群优化算法调整控制参数以减小代价函数。通过仿真和试验验证算法的有效性和鲁棒性。     

步进扫描光刻机加速时间段的S曲线规化

为提高步进扫描式光刻机的生产效率,提出了一种具有时间最优和冲击最小的5阶S曲线。在最大扫描速度恒定的前提下,以最小时间和冲击为优化指标,设计了加速时间段内的5阶S曲线。在优化指标冲击力项中引入了可变参数,可以根据加速时间和执行电机进行调整,在光刻机设备允许的范围内缩短加速时间。仿真结果表明,相对于数值方法设计的S曲线,优化S曲线加速时间明显缩短并且加速度曲线平滑。冲击力项系数对加速时间和S曲线的平滑性有很大影响。