TiO_2SnO_2系新型湿敏元件的研制

本文提出了一种新型TiO_2-SnO_2系湿敏元件.文中介绍了该器件的主要结构工艺,对感湿机理进行了探讨,并研究其特性.研究结果表明,这种湿敏器件具有良好的湿敏特性,制造工艺简单、成本低等特点.     

微粒子多功能(温、气、湿)敏感元件的研制

<正> 本文介绍一种温、湿、气微粒子多功能敏感元件初步研制的一些结果和主要结构特点, 该元件使用硅平面工艺,在n型外延片上扩散出p-n结二极管和电阻,利用p-n结正向压降随温度升高而下降的特性测量环境温度,同