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1.
介绍了采用湿式三效除尘机组对山西分公司铝矾土破碎车间除尘系统进行技术改造的的生产实践。  相似文献   
2.
微电子机械系统   总被引:7,自引:0,他引:7  
王跃林  苏以撒 《电子学报》1995,23(10):37-42
本文对国外微电子机械系统的研究现况作了评述,介绍了MEMS的主要技术和它的应用情况,对国外的一些主要研究机构的情况进行了分析,最后就我国MEMS的发展提出了一些建议。  相似文献   
3.
4.
充油型脱醇型硅酮密封胶性能研究   总被引:3,自引:0,他引:3  
研究了甲基硅油、低分子量聚丁烯、氢化烷烃油作为增塑剂用于脱醇型RTV-1硅酮胶对其性能的影响。结果表明:甲基硅油增塑剂对降低模量、提高位移能力效果明显;聚丁烯与聚硅氧烷相容性差,影响与基材的界面粘接;少量添加烷烃油能起到与甲基硅油类似的效果,但热失重超过10%,添加量增加对基材的粘结性变差,其它性能也大幅降低。  相似文献   
5.
随着电容式加速度传感器的广泛使用,对其品质因子、谐振频率等关键参数的器件级测试显得尤为重要.本文提出了一种简单有效的加速度计品质因子测试方法--阶跃响应测试法,详细分析了其测试原理及测试结果,并与传统的静电激励扫频测试法进行了对比.结果表明:两种测试方法中等效电刚度的不同,造成了测试结果的差异.  相似文献   
6.
对微机械陀螺系统的自激驱动环路进行了分析,并对数字处理电路中自动增益控制(AGC)模块进行了深入研究,给出了一种高控制精度的定点数字AGC算法。通过理论分析和模型仿真,结果表明AGC控制精度得到很大的提高,对陀螺驱动输出信号的幅度具有很好的控制效果,从而可以大大减小陀螺温漂及其他一些因素引起的不稳定性。最后给出了算法的直线逼近近似实现方法,能在的定点DSP当中很方便的实现。  相似文献   
7.
为了精确操控微流体,设计并制作了一种基于静电力的微液滴驱动芯片.介绍了驱动原理和工艺流程,搭建了驱动检测实验平台.芯片采用开放式的结构,只需单层共平面控制电极,以硅作衬底,氧化硅和多晶硅作绝缘层,重掺杂多晶硅为驱动电极阵列,高质量Si3N4作介质层,碳氟聚合物为疏水层.实验表明:微液滴可在芯片上按程序设定方式在二维平面...  相似文献   
8.
9.
以往的牺牲层腐蚀模型把扩散系数看作是常数,然而,实验结果和以往模型的计算结果在腐蚀开始一段较短的时间内吻合较好,但随着腐蚀时间的变长两者的差异越来越明显.为了解释这一现象并使模型能够较好地预测腐蚀过程,提出了腐蚀模型应该考虑氢氟酸扩散系数是浓度的函数,并在此基础上得到了改进模型.在改进模型中,浓度的下降会引起扩散系数的增大,这部分补偿了腐蚀前端浓度的下降.另外在改进模型中,扩散系数还是温度的函数.实验表明,改进模型与实验结果吻合地较好.这些结果不仅为对牺牲层腐蚀机理的理解提供新的证据,而且也为溶液在bubble结构里面的扩散提供新的证据.文中所观察到的这些现象也适合于其他类型的牺牲层腐蚀,条件是其腐蚀过程是受扩散限制的.  相似文献   
10.
谐振式光纤陀螺中偏振波动的影响   总被引:1,自引:0,他引:1  
谐振式光纤陀螺是基于光学Sagnac效应产生的谐振频率差来测量旋转角速率的一种新型光学传感器。通过对其噪声源的大量研究表明,偏振波动是谐振式光纤陀螺中的主要噪声因素之一。我们主要就偏振波动的产生机理及相应的补偿措施进行了详细分析。  相似文献   
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